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产品介绍
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光罩对准曝光机
汞灯曝光源
汞灯电源供应器
零组件
产品介绍
全部
光罩对准曝光机
汞灯曝光源
汞灯电源供应器
零组件
全自动光罩对准曝光机
适合工业界24小时量产使用
全自动机型之晶圆传送为自动输入与输出, 自动对位曝光,可一天24小时操作,减少人力需求,提高可靠性,增加产量,…
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半自动光罩对准曝光机
适合量产线使用
单面对准曝光系统
用PLC程式控制,使多个手动动作能连动,减少手动操作的程序,系统简单,性能可靠,适合量产线使用。…
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全手动光罩对准曝光机
适合研究单位使用
全手动操作,每一个动作可单独操作,适合实验室研究使用或量产前制程开发使用。…
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桌上型曝光机
适合研究单位使用
保有全手动之完整功能, 取消手动机下方之机架以及后方之箱体,做最简化之设计, 适合预算不多之客户 。…
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双面对准曝光机
双面对准单面曝光系统
对于无法正常正面对位之制程,可以采用背面对位方式来对位, 双面对准曝光机包含有正面对位及背面对位两套对位影像系…
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双面曝光曝光机
双面曝光曝光机采用上及下两组曝光源, 欲曝光机基板夹于上下光罩之间同时曝基板上下两面, 对双面制程之基板之产能…
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350W/500W平行UV曝光源
可以切换使用350W,500W 高压汞灯泡,使用本公司之电源供应器, 电源可内部切换使用110V,220V,灯…
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1000W平行UV曝光源
使用1000W高压汞灯泡,配合本公司之电源供应器,电源可内部切换使用110V,220V,灯箱内部之flyeye…
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2000WUV平行光曝光源
使用2000W高压汞灯, 配合本公司之电源供应器,电源使用三相220V,灯箱内部之flyeye透镜阵列与出光口…
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5KW UV平行光曝光源
使用5000W高压汞灯, 配合本公司之电源供应器,电源使用三相220V,灯箱内部之flyeye透镜数组与出光口…
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5KW大面积UV平行光曝光源
平行出光改采平行反射铝镜,曝光面积可到60cmx60cm, 光源强度以5kW灯泡,60cm方出光之NUV光束的…
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1000W曝光灯源
使用1000W高压汞灯泡,配合本公司之电源供应器,电源可内部切换使用110V,220V,灯箱内部之flyeye…
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350W/500W 高压汞灯电源供应器
350W,500W 高压汞灯电源供应器,可内部切换以供应 350W 或 500W 高压汞灯电源,亦可内部切换使…
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1KW 高压汞灯电源供应器
1KW 高压汞灯电源供应器, 可内部切换使用110V或220V电源,内建点灯电路, 面板上之可覆归小时表可记录…
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2KW 高压汞灯电源供应器
2KW 高压汞灯电源供应器, 使用三相220V电源,内建20KV高压点灯电路, 面板上之可覆归小时表可记录汞灯…
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5KW 高压汞灯电源供应器
5KW 高压汞灯电源供应器, 使用三相220V电源,内建20KV高压点灯电路,面板上之可覆归小时表可记录汞灯使…
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500W光强度控制型电源供应器
500W光强度控制型电源供应器,可接收曝光灯箱的光源强度信号,有两种控制模式可切换 : 功率控制与光强度控制。…
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1KW光强度控制型电源供应器
1KW光强度控制型电源供应器,可接收曝光灯箱的光强度信号,有两种控制模式可切换 : 功率控制与光强度控制。&n…
详细内容
2KW光强度控制型电源供应器
2KW光强度控制型电源供应器,可接收曝光灯箱的光强度信号,有两种控制模式可切换 : 功率控制与光强度控制。&n…
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5KW光强度控制型电源供应器
5KW光强度控制型电源供应器,可接收曝光灯箱的光强度信号,有两种控制模式可切换 : 功率控制与光强度控制。 &…
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紫外光强度计
G&R Labs Model 100 & Model 202侦测范围:1.0~199.9mW/…
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高压汞灯
各种功率的高压汞灯 ( 350W,500W,1000W,2000W,5000W )。…
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flyeye阵列透镜组&高压汞灯散热器
各种功率高压汞灯散热器。各式方形与圆形的苍蝇眼透镜阵列 ( Flyeye ) ,石英材质。…
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石英大透镜
各种尺寸的出光口镀膜石英大透镜 ,尺寸 : 4",5", 6",8", 12" 。…
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UV 反射镜
多种尺寸UV镜 ( 反射波长 350nm~450nm ),材质石英或耐热玻璃镀膜。…
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椭圆反射镜
多种尺寸椭圆反射镜。…
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对平真空球座
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方形晶圆真空吸盘
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圆形晶圆真空吸盘
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光罩吸盘
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快门控制器
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对位软体
自动对准影像软体,全自动曝光机使用,可客制化。…
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filter 滤镜
I-line,H-line 与 I-line 滤镜 ( 365nm,405nm,436nm ) , 石英基板镀…
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shutter 快门组
快门组,使用旋转电磁铁驱动。…
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快速扫描台
快速扫描台,可手动快速移动镜头,由手把按键控制 XY 轴锁定。…
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