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光罩對準曝光機
汞燈曝光源
汞燈電源供應器
零組件
UV LED 曝光源
UV LED電源供應器
產品介紹
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光罩對準曝光機
汞燈曝光源
汞燈電源供應器
零組件
UV LED 曝光源
UV LED電源供應器
全自動光罩對準曝光機
適合工業界24小時量產使用
全自動機型之晶圓傳送為自動輸入與輸出, 自動對位曝光,可一天24小時操作,減少人力需求,提高可靠性,增加產量,…
詳細內容
半自動光罩對準曝光機
適合量產線使用
單面對準曝光系統
用PLC程式控制,使多個手動動作能連動,減少手動操作的程序,系統簡單,性能可靠,適合量產線使用。…
詳細內容
全手動光罩對準曝光機
適合研究單位使用
全手動操作,每一個動作可單獨操作,適合實驗室研究使用或量產前製程開發使用。…
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簡易型曝光機
對於只有曝第一道製程的客戶, 我們推出簡易曝光機,沒有影像對位功能, 但還保有對平操作及間隙調整功能。…
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桌上型曝光機
適合研究單位使用
保有全手動之完整功能, 取消手動機下方之機架以及後方之箱體, 做最簡化之設計, 適合預算不多之客戶。…
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雙面曝光曝光機
雙面曝光曝光機採用上及下兩組曝光源, 欲曝光機基板夾於上下光罩之間同時曝基板上下兩面, 對雙面製程之基板之產能…
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雙面對準曝光機
雙面對準單面曝光系統
對於無法正常正面對位之製程,可以採用背面對位方式來對位, 雙面對準曝光機包含有正面對位及背面對位兩套對位影像系…
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350W/500W平行UV曝光源
可以切換使用350W,500W 高壓汞燈泡,使用本公司之電源供應器, 電源可內部切換使用110V,220V,燈…
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1000W平行UV曝光源
使用1000W高壓汞燈泡,配合本公司之電源供應器,電源可內部切換使用110V,220V,燈箱內部之flyeye…
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2000WUV平行光曝光源
使用2000W高壓汞燈, 配合本公司之電源供應器,電源使用三相220V,燈箱內部之flyeye透鏡陣列與出光口…
詳細內容
5KW大面積UV平行光曝光源
平行出光改採平行反射鋁鏡,曝光面積可到60cmx60cm, 光源強度以5kW燈泡,60cm方出光之NUV光束的…
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1000W 平行UV曝光燈源
使用1000W高壓汞燈泡,配合本公司之電源供應器,電源可內部切換使用110V,220V,燈箱內部之flyeye…
詳細內容
5KW UV平行光曝光源
使用5000W高壓汞燈, 配合本公司之電源供應器,電源使用三相220V,燈箱內部之flyeye透鏡陣列與出光口…
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350W/500W 高壓汞燈電源供應器
350W,500W 高壓汞燈電源供應器,可內部切換以供應 350W或 500W 高壓汞燈電源,亦可內部切換使用…
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1KW 高壓汞燈電源供應器
1KW 高壓汞燈電源供應器, 可內部切換使用110V或220V電源,內建點燈電路, 面板上之可覆歸小時表可記錄…
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2KW 高壓汞燈電源供應器
2KW 高壓汞燈電源供應器, 使用三相220V電源,內建20KV高壓點燈電路, 面板上之可覆歸小時表可記錄汞燈…
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5KW 高壓汞燈電源供應器
5KW 高壓汞燈電源供應器, 使用三相220V電源,內建20KV高壓點燈電路,面板上之可覆歸小時表可記錄汞燈使…
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500W光強度控制型電源供應器
500W光強度控制型電源供應器,可接收曝光燈箱的光源強度信號,有兩種控制模式可切換 : 功率控制與光強度控制。…
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1KW光強度控制型電源供應器
1KW光強度控制型電源供應器, 可接收曝光燈箱的光強度信號,有兩種控制模式可切換 : 功率控制與光強度控制。&…
詳細內容
2KW光強度控制型電源供應器
2KW光強度控制型電源供應器,可接收曝光燈箱的光強度信號,有兩種控制模式可切換 : 功率控制與光強度控制。&n…
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5KW光強度控制型電源供應器
5KW光強度控制型電源供應器,可接收曝光燈箱的光強度信號,有兩種控制模式可切換 : 功率控制與光強度控制。&n…
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紫外光強度計
G&R Labs Model 100 & Model 202偵測範圍:1.0~199.9mW/…
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高壓汞燈
各種功率的高壓汞燈 ( 350W,500W,1000W,2000W,5000W )。…
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flyeye陣列透鏡組&高壓汞燈散熱器
各種功率高壓汞燈散熱器。各式方形與圓形的蒼蠅眼透鏡陣列 ( Flyeye ) ,石英材質。 &nbs…
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石英大透鏡
各種尺寸的出光口鍍膜石英大透鏡 ,尺寸 : 4",5", 6",8", 12" 。…
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UV 反射鏡
多種尺寸UV鏡 ( 反射波長 350nm~450nm ),材質石英或耐熱玻璃鍍膜。…
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橢圓反射鏡
多種尺寸橢圓反射鏡。…
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對平真空球座
多種尺寸對平真空球座。…
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方形晶圓真空吸盤
多種尺寸方形晶圓真空吸盤。…
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圓形晶圓真空吸盤
多種尺寸圓形晶圓真空吸盤。…
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光罩吸盤
多種尺寸光罩吸盤。…
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快門控制器
多種尺寸快門控制器。…
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對位軟體
自動對準影像軟體,全自動曝光機使用,可客製化。…
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filter 濾鏡
I-line,H-line 與 G-line 濾鏡 ( 365nm,405nm,436nm ) , 石英基板鍍…
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shutter 快門組
快門組,使用旋轉電磁鐵驅動。…
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快速掃描台
快速掃描台,可手動快速移動鏡頭,由手把按鍵控制 XY 軸鎖定。…
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UV LED曝光源-16晶粒
本公司開發之UV LED曝光源,以汞燈曝光源為設計基礎,燈室內之發光源以UV LED燈組取代汞燈及橢圓鏡,保留…
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UV LED 16晶粒用電源供應器
UV LED 16晶粒用電源供應器,可切換定電流/定光強控制,由可鎖定旋鈕調整, 輸出電流:0.2~1.5A,…
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UV LED 64晶粒用電源供應器
UV LED 64晶粒用電源供應器,可切換定電流/定光強控制,由可鎖定旋鈕調整, 輸出電流:0.2~1.5A,…
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UV LED曝光源-64晶粒
本公司開發之UV LED曝光源,以汞燈曝光源為設計基礎,燈室內之發光源以UV LED燈組取代汞燈及橢圓鏡,保留…
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UV LED 36晶粒用電源供應器
UV LED 36晶粒用電源供應器,可切換定電流/定光強控制,由可鎖定旋鈕調整, 輸出電流:0.2~1.5A,…
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UV LED 144晶粒用電源供應器
UV LED 144晶粒用電源供應器,可切換定電流/定光強控制,由可鎖定旋鈕調整, 輸出電流:0.2~1.5A…
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UV LED曝光源-36晶粒
本公司開發之UV LED曝光源,以汞燈曝光源為設計基礎,燈室內之發光源以UV LED燈組取代汞燈及橢圓鏡,保留…
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