本公司開發之UV LED曝光源,以汞燈曝光源為設計基礎,燈室內之發光源以UV LED燈組取代汞燈及橢圓鏡,保留出光箱之均勻化Flyeye透鏡陣列,以及平行化之出光口大透鏡. flyeye透鏡陣列與出光口之透鏡皆使用石英材質。

64晶粒之UV LED曝光源屬較中功率,使用4個16晶粒之UV LED燈組當發光源,出光口徑適合 6″ , 8″, 12″圓 或 4″，5″, 6″, 8″方光束. 波長可選擇365nm,405nm,或365+405nm混合型. 光源強度依所選波長及光束大小形狀而異，以純365nm波長之 6″圓光束,其I-line輸出強度約在50~70mW/cm2，均勻性在正負5%以內，光源平行半角依出光口徑不同約在1.5~2.5度。

本公司開發之UV LED燈組, 採用氣冷散熱. 與別廠水冷散熱不同, 不需要拉水管.

UV LED曝光源可随開随關,不需暖機時間,只需在需要曝光時才亮燈, 可達省電,長壽命, 穩定性也比汞燈曝光源好.