我们提供最专业的设计与服务

本公司成立于2006年,为一小型之设备制造厂,专精于半导体微影制程之光罩对准曝光机及曝光源之开发制造,从曝光灯箱内的光学设计到各种型式的完整曝光机,本公司经多年努力已完全自行开发完成,并已出货国内外众多客户,深获好评。

  • 光罩对准曝光机

    高产量全自动曝光机,对位制程每小时可产出250片以上,无对位制程每小时可产出350片以上,全自动机型之晶圆传送为自动输入与输出,产量为业界最高,两倍于其他厂牌机型。

  • 曝光源

    可选用光强回授型电源供应器,以灯箱内部之光强侦测器信号做回授控制,可使光强输出长时间稳定,以均匀化的透镜阵列产生的光束,在做图形转移的曝光时可有效降低光的绕射。

  • 汞灯电源

    数位面板显示输出功率及电压电流值,内部电磁接触器做过载保护,后方接头可输出灯箱散热风扇电源,以及灯箱过温保护互锁线路,操作性能良好,稳定性佳,耐用度高,最适合生产线使用。

  • 零组件

    目前没有内容,也不知道要写啥,就随便写写吧,以占据版面。 但许多方面来说,当我们搭上外滩人行道后,有正式的舞蹈表演,每个人最终都会鼓掌,我建立这间公司,酷 !!

常见问题 More
请问你们机台的制作时间要多久?

手动机通常是下单后2~3个月,全自动机通常是下单后5~6个月。

曝光源点灯后,电源供应器显示的功率值一直很低,长时间仍无法到达设定值,请问是那边故障?

汞灯点灯后,需待灯泡温度上升,水银完全挥发成气态,功率才能到达设定值,若散热风速太强造成灯泡无法升温,功率就无法上升,光束强度也会非常弱。

请问你们的半自动曝光机产能是多少?

若您的对位精度不需要很高,熟练的操作员一分钟最快可以做完3片。

请问你们的付款条件是?

台湾客户通常是预付30%,交机40%,验收30%。

曝光源使用约1个小时,会自行熄灭,请问是那边故障?

曝光源灯箱内部有温度保护开关,以防止灯泡过热爆炸,若是灯箱散热不良,温度温度到达保护开关的设定,电源供应器就会跳脱。

我的曝光源使用几个钟头后就熄灯,再点灯又正常,请问是什么问题?

请检查散热风扇,可能是风路被挡住造成灯箱内部过热而启动温度保护开关,造成电源供应器跳脱。