我们提供最专业的设计与服务

本公司成立于2006年，为一小型之设备制造厂，专精于半导体微影制程之光罩对准曝光机及曝光源之开发制造，从曝光灯箱内的光学设计到各种型式的完整曝光机，本公司经多年努力已完全自行开发完成，并已出货国内外众多客户，深获好评。

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  • 光罩对准曝光机

    高产量全自动曝光机，对位制程每小时可产出250片以上，无对位制程每小时可产出350片以上，全自动机型之晶圆传送为自动输入与输出，产量为业界最高，两倍于其他厂牌机型。

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  • 曝光源

    可选用光强回授型电源供应器，以灯箱内部之光强侦测器信号做回授控制，可使光强输出长时间稳定，以均匀化的透镜阵列产生的光束，在做图形转移的曝光时可有效降低光的绕射。

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  • 汞灯电源

    数位面板显示输出功率及电压电流值，内部电磁接触器做过载保护，后方接头可输出灯箱散热风扇电源，以及灯箱过温保护互锁线路，操作性能良好，稳定性佳,耐用度高，最适合生产线使用。

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  • 零组件

    目前没有内容，也不知道要写啥，就随便写写吧，以占据版面。 但许多方面来说，当我们搭上外滩人行道后，有正式的舞蹈表演，每个人最终都会鼓掌，我建立这间公司，酷 !!

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信息公告 More
常见问题 More
对准台进行对位调整时，前后左右旋转三轴的调整顺序是如何?

一般是先调整前后与旋转，调到两组aign key接近平行，再换手调整前后与左右，不断重覆调整到两组alig key都到定位。

请问我的晶圆需要用背面的align key来做对位，有适合的机型吗?

我们的双面对准曝光机，有背对准镜头组可用来做背面对位。

请问我的光阻有I-line与H-line两种，请问你们有适合的曝光源吗?

我们的标准曝光源，波长范围为NUV(Near UV)含有I-line， H-line， G-line三个光束，适用你们的需求。

请问你们曝光灯箱使用那家的高压汞灯?

我们一般使用美国ARC的汞灯泡，若需使用Ushio， Osram等厂牌汞灯泡，我们也可以配合设计制作。

曝光源点灯后，电源供应器显示的功率值一直很低，长时间仍无法到达设定值，请问是那边故障?

汞灯点灯后，需待灯泡温度上升，水银完全挥发成气态，功率才能到达设定值，若散热风速太强造成灯泡无法升温，功率就无法上升，光束强度也会非常弱。

我的快速扫描台无法良好锁定，在镜头座汽缸移动时，镜头的定位会左右偏移，请问是那边故障?

应该是快速扫描台内部的夹紧汽缸无法确实锁定，请检查气压是否不足，是否有漏气，也有可能是夹紧汽缸的橡胶老化需要更换。