本公司成立于2006年,为一小型之设备制造厂,专精于半导体微影制程之光罩对准曝光机及曝光源之开发制造,从曝光灯箱内的光学设计到各种型式的完整曝光机,本公司经多年努力已完全自行开发完成,并已出货国内外众多客户,深获好评。
手动机通常是下单后2~3个月,全自动机通常是下单后5~6个月。
汞灯点灯后,需待灯泡温度上升,水银完全挥发成气态,功率才能到达设定值,若散热风速太强造成灯泡无法升温,功率就无法上升,光束强度也会非常弱。
若您的对位精度不需要很高,熟练的操作员一分钟最快可以做完3片。
台湾客户通常是预付30%,交机40%,验收30%。
曝光源灯箱内部有温度保护开关,以防止灯泡过热爆炸,若是灯箱散热不良,温度温度到达保护开关的设定,电源供应器就会跳脱。
请检查散热风扇,可能是风路被挡住造成灯箱内部过热而启动温度保护开关,造成电源供应器跳脱。