我们提供最专业的设计与服务

本公司成立于2006年,为一小型之设备制造厂,专精于半导体微影制程之光罩对准曝光机及曝光源之开发制造,从曝光灯箱内的光学设计到各种型式的完整曝光机,本公司经多年努力已完全自行开发完成,并已出货国内外众多客户,深获好评。

  • 光罩对准曝光机

    高产量全自动曝光机,对位制程每小时可产出250片以上,无对位制程每小时可产出350片以上,全自动机型之晶圆传送为自动输入与输出,产量为业界最高,两倍于其他厂牌机型。

  • 曝光源

    可选用光强回授型电源供应器,以灯箱内部之光强侦测器信号做回授控制,可使光强输出长时间稳定,以均匀化的透镜阵列产生的光束,在做图形转移的曝光时可有效降低光的绕射。

  • 汞灯电源

    数位面板显示输出功率及电压电流值,内部电磁接触器做过载保护,后方接头可输出灯箱散热风扇电源,以及灯箱过温保护互锁线路,操作性能良好,稳定性佳,耐用度高,最适合生产线使用。

  • 零组件

    目前没有内容,也不知道要写啥,就随便写写吧,以占据版面。 但许多方面来说,当我们搭上外滩人行道后,有正式的舞蹈表演,每个人最终都会鼓掌,我建立这间公司,酷 !!

常见问题 More
对准台光罩吸盘盖下后,会听到chuck有声音,正常吗?

光罩与基板欲进行真空吸附,chuck四周会有膜片封住,在对位时,需有吹气破真空,以防止光罩与基板因膜片产生的真空而贴合阻碍对位进行, 吹气时膜片会震动而发声,可调整吹气的大小以减低音量。

你们的NUV曝光源含有三种光束,我的光阻是I-line光阻,需要用滤镜把另两种光束滤掉吗?

一般曝光制程不需使用滤镜,I-line光阻使用NUV光源曝光效果正常,若您要测试光阻的材料性能,可以用滤镜把另两道光束滤除,以减少测试因素。

请问UV镜与椭圆镜要多久更换?

一般正常使用,UV镜与椭圆镜可以使用好几年,若是发生出光强度明显减弱,可查看椭圆镜?部表面镀膜是否有过热变黑或漏酸腐蚀情形,定再决定是否更换。

请问你们机台的制作时间要多久?

手动机通常是下单后2~3个月,全自动机通常是下单后5~6个月。

请问你们的半自动曝光机产能是多少?

若您的对位精度不需要很高,熟练的操作员一分钟最快可以做完3片。

请问汞灯泡的使用时数是多少?

依灯泡厂的规格,350W灯泡是600小时,500W灯泡是800小时,1000W以上灯泡是1000小时左右。