我们提供最专业的设计与服务

本公司成立于2006年,为一小型之设备制造厂,专精于半导体微影制程之光罩对准曝光机及曝光源之开发制造,从曝光灯箱内的光学设计到各种型式的完整曝光机,本公司经多年努力已完全自行开发完成,并已出货国内外众多客户,深获好评。

  • 光罩对准曝光机

    高产量全自动曝光机,对位制程每小时可产出250片以上,无对位制程每小时可产出350片以上,全自动机型之晶圆传送为自动输入与输出,产量为业界最高,两倍于其他厂牌机型。

  • 曝光源

    可选用光强回授型电源供应器,以灯箱内部之光强侦测器信号做回授控制,可使光强输出长时间稳定,以均匀化的透镜阵列产生的光束,在做图形转移的曝光时可有效降低光的绕射。

  • 汞灯电源

    数位面板显示输出功率及电压电流值,内部电磁接触器做过载保护,后方接头可输出灯箱散热风扇电源,以及灯箱过温保护互锁线路,操作性能良好,稳定性佳,耐用度高,最适合生产线使用。

  • 零组件

    目前没有内容,也不知道要写啥,就随便写写吧,以占据版面。 但许多方面来说,当我们搭上外滩人行道后,有正式的舞蹈表演,每个人最终都会鼓掌,我建立这间公司,酷 !!

常见问题 More
对准台进行对位调整时,前后左右旋转三轴的调整顺序是如何?

一般是先调整前后与旋转,调到两组aign key接近平行,再换手调整前后与左右,不断重覆调整到两组alig key都到定位。

请问我的晶圆需要用背面的align key来做对位,有适合的机型吗?

我们的双面对准曝光机,有背对准镜头组可用来做背面对位。

请问我的光阻有I-line与H-line两种,请问你们有适合的曝光源吗?

我们的标准曝光源,波长范围为NUV(Near UV)含有I-line, H-line, G-line三个光束,适用你们的需求。

请问你们曝光灯箱使用那家的高压汞灯?

我们一般使用美国ARC的汞灯泡,若需使用Ushio, Osram等厂牌汞灯泡,我们也可以配合设计制作。

曝光源点灯后,电源供应器显示的功率值一直很低,长时间仍无法到达设定值,请问是那边故障?

汞灯点灯后,需待灯泡温度上升,水银完全挥发成气态,功率才能到达设定值,若散热风速太强造成灯泡无法升温,功率就无法上升,光束强度也会非常弱。

我的快速扫描台无法良好锁定,在镜头座汽缸移动时,镜头的定位会左右偏移,请问是那边故障?

应该是快速扫描台内部的夹紧汽缸无法确实锁定,请检查气压是否不足,是否有漏气,也有可能是夹紧汽缸的橡胶老化需要更换。