我们提供最专业的设计与服务

本公司成立于2006年，为一小型之设备制造厂，专精于半导体微影制程之光罩对准曝光机及曝光源之开发制造，从曝光灯箱内的光学设计到各种型式的完整曝光机，本公司经多年努力已完全自行开发完成，并已出货国内外众多客户，深获好评。

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  • 光罩对准曝光机

    高产量全自动曝光机，对位制程每小时可产出250片以上，无对位制程每小时可产出350片以上，全自动机型之晶圆传送为自动输入与输出，产量为业界最高，两倍于其他厂牌机型。

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  • 曝光源

    可选用光强回授型电源供应器，以灯箱内部之光强侦测器信号做回授控制，可使光强输出长时间稳定，以均匀化的透镜阵列产生的光束，在做图形转移的曝光时可有效降低光的绕射。

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  • 汞灯电源

    数位面板显示输出功率及电压电流值，内部电磁接触器做过载保护，后方接头可输出灯箱散热风扇电源，以及灯箱过温保护互锁线路，操作性能良好，稳定性佳,耐用度高，最适合生产线使用。

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  • 零组件

    目前没有内容，也不知道要写啥，就随便写写吧，以占据版面。 但许多方面来说，当我们搭上外滩人行道后，有正式的舞蹈表演，每个人最终都会鼓掌，我建立这间公司，酷 !!

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信息公告 More
常见问题 More
请问我的光阻有I-line与H-line两种，请问你们有适合的曝光源吗?

我们的标准曝光源，波长范围为NUV(Near UV)含有I-line， H-line， G-line三个光束，适用你们的需求。

光罩需如何固定?

光罩以真空吸附于吸盘上，下吸式吸盘先以手由下方托着光罩，将光罩贴附于吸盘下方，侧边顶住定位小螺丝，再开启真空，上吸式吸盘先将光罩置于吸盘上，侧边顶住定位小螺丝，再开启真空。

我的500W汞灯泡使用时数已到800小时要更换了，但除强度比新灯降低外，其他看起来都还好，可否继续使用下去?

汞灯泡使用时间久后，除强度降低，也会有灯泡表面过热与熄灯或点不着等风险，建议使用时数到时就要准备更换。

请问你们机台的制作时间要多久?

手动机通常是下单后2~3个月，全自动机通常是下单后5~6个月。

请问你们还有中古曝光机或中古曝光源吗?

我们偶尔会购进中古机，但通常没有存货。

请问我们是经费不多的半导体实验室，想买一台基本功能都有的曝光机，你们有适合的机型吗?

可以考虑我们的桌上型曝光机。