我们提供最专业的设计与服务

本公司成立于2006年，为一小型之设备制造厂，专精于半导体微影制程之光罩对准曝光机及曝光源之开发制造，从曝光灯箱内的光学设计到各种型式的完整曝光机，本公司经多年努力已完全自行开发完成，并已出货国内外众多客户，深获好评。

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  • 光罩对准曝光机

    高产量全自动曝光机，对位制程每小时可产出250片以上，无对位制程每小时可产出350片以上，全自动机型之晶圆传送为自动输入与输出，产量为业界最高，两倍于其他厂牌机型。

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  • 曝光源

    可选用光强回授型电源供应器，以灯箱内部之光强侦测器信号做回授控制，可使光强输出长时间稳定，以均匀化的透镜阵列产生的光束，在做图形转移的曝光时可有效降低光的绕射。

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  • 汞灯电源

    数位面板显示输出功率及电压电流值，内部电磁接触器做过载保护，后方接头可输出灯箱散热风扇电源，以及灯箱过温保护互锁线路，操作性能良好，稳定性佳,耐用度高，最适合生产线使用。

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  • 零组件

    目前没有内容，也不知道要写啥，就随便写写吧，以占据版面。 但许多方面来说，当我们搭上外滩人行道后，有正式的舞蹈表演，每个人最终都会鼓掌，我建立这间公司，酷 !!

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信息公告 More
常见问题 More
对准台光罩吸盘盖下后，会听到chuck有声音，正常吗?

光罩与基板欲进行真空吸附，chuck四周会有膜片封住，在对位时，需有吹气破真空，以防止光罩与基板因膜片产生的真空而贴合阻碍对位进行， 吹气时膜片会震动而发声，可调整吹气的大小以减低音量。

你们的NUV曝光源含有三种光束，我的光阻是I-line光阻，需要用滤镜把另两种光束滤掉吗?

一般曝光制程不需使用滤镜，I-line光阻使用NUV光源曝光效果正常，若您要测试光阻的材料性能，可以用滤镜把另两道光束滤除，以减少测试因素。

请问UV镜与椭圆镜要多久更换?

一般正常使用，UV镜与椭圆镜可以使用好几年，若是发生出光强度明显减弱，可查看椭圆镜?部表面镀膜是否有过热变黑或漏酸腐蚀情形，定再决定是否更换。

请问你们机台的制作时间要多久?

手动机通常是下单后2~3个月，全自动机通常是下单后5~6个月。

请问你们的半自动曝光机产能是多少?

若您的对位精度不需要很高，熟练的操作员一分钟最快可以做完3片。

请问汞灯泡的使用时数是多少?

依灯泡厂的规格，350W灯泡是600小时，500W灯泡是800小时，1000W以上灯泡是1000小时左右。