我们提供最专业的设计与服务

本公司成立于2006年,为一小型之设备制造厂,专精于半导体微影制程之光罩对准曝光机及曝光源之开发制造,从曝光灯箱内的光学设计到各种型式的完整曝光机,本公司经多年努力已完全自行开发完成,并已出货国内外众多客户,深获好评。

  • 光罩对准曝光机

    高产量全自动曝光机,对位制程每小时可产出250片以上,无对位制程每小时可产出350片以上,全自动机型之晶圆传送为自动输入与输出,产量为业界最高,两倍于其他厂牌机型。

  • 曝光源

    可选用光强回授型电源供应器,以灯箱内部之光强侦测器信号做回授控制,可使光强输出长时间稳定,以均匀化的透镜阵列产生的光束,在做图形转移的曝光时可有效降低光的绕射。

  • 汞灯电源

    数位面板显示输出功率及电压电流值,内部电磁接触器做过载保护,后方接头可输出灯箱散热风扇电源,以及灯箱过温保护互锁线路,操作性能良好,稳定性佳,耐用度高,最适合生产线使用。

  • 零组件

    目前没有内容,也不知道要写啥,就随便写写吧,以占据版面。 但许多方面来说,当我们搭上外滩人行道后,有正式的舞蹈表演,每个人最终都会鼓掌,我建立这间公司,酷 !!

常见问题 More
请问我只要测光阻材料在不同gap时曝光的特性,有适合的机型吗?

我们有简易曝光机,没有影像对位功能,可适合您的应用。

请问你们的付款条件是?

台湾客户通常是预付30%,交机40%,验收30%。

使用I-line滤镜把NUV的另两种波长滤除,为什么I-line的强度会降低

I-line滤镜会挡掉大部份H-line与G-line两种波长,而让约70%的I-line波长通过,但难免会挡掉一小部份I-line波长,目前尚无100%通过的滤镜。

我们的曝光灯箱内的汞灯在使用中爆炸了,处理程序如何?

汞灯内含水银,在高热状态爆炸,水银会以雾化状散开,若灯箱有连接抽风管,可待抽风约30分钟后再清理灯箱内部,若灯箱散热风直接排于室内, 应疏散人员并等室内空气排出后再行清理灯箱内部,清理灯泡碎屑应注意安全勿遭割伤,清除完后可用布把UV镜与椭圆镜稍加擦拭, 并注意排除可能造成爆灯的因素,再换上新灯泡重新点灯操作。

我在换灯泡时手指不小心碰到灯泡,请问要如何处理?

换灯泡时要戴上手套并避免接触灯泡中央球体部份,若手指不小心碰到灯泡,可以布沾溶剂清除灯泡上的薄油脂,以免产生爆炸风险。

请问你们曝光灯箱使用那家的高压汞灯?

我们一般使用美国ARC的汞灯泡,若需使用Ushio, Osram等厂牌汞灯泡,我们也可以配合设计制作。