平行出光改採平行反射鋁鏡，曝光面積可到60cmx60cm， 光源強度以5kW燈泡，60cm方出光之NUV光束的I-line輸出強度約在15mW/cm2，

均勻性在正負5~8%， 光源平行半角依出光口徑不同約在1.5~2.5度。  

適合大面積之基板曝光製程。