紫外光源可採汞燈或UV LED, 

汞燈可選: 350W，500W，1000W，2000W，3500W，5000W.  UV LED可選: 單燈組16晶粒, 單燈組36晶粒, 四燈組64晶粒, 四燈組144晶粒.

曝光光源尺寸 : 4″，6″，8″，10″，12″ 。

汞燈波長 : NUV (含365nm， 405nm，435nm), UV LED波長: 365nm, 405nm, 365nm+405nm.

光源平行半角 : 1.5~2.5度 (依出光口徑) 。

均勻度 : +-3~5% ，

高壓汞燈電源供應器, 或UV LED電源供應器

光罩真空吸盤: 4”，5” 或 6”下吸式 晶圓真空吸盤: 破片2”，3”，4” 或5” 具光罩與晶圓平行面校正功能， 晶圓真空吸盤可前後左右調整約10mm，調整靈敏度1um 旋轉調整約5度，調整靈敏度0.001度 Z軸可調整約3mm， 調整靈敏度1um， Z軸具千分錶可顯示光罩與晶圓間距，Z軸可設定對準與曝光兩種間隙，可調整接觸真空吸附力大小 曝光模式有Vacuum contact，Soft contact，Proximity 人工置放晶片與調整晶片位置，取放晶圓時光罩吸盤以手開啟 。 人工置放晶片與調整晶片位置，取放晶圓時光罩吸盤以手開啟。