可以切換使用350W，500W 高壓汞燈泡，使用本公司之電源供應器， 電源可內部切換使用110V，220V，燈箱內部之flyeye透鏡陣列與出光口之透鏡皆使用石英材質， 可確保數年之長期使用後UV光強度輸出不至衰減過多。

 

出光口徑可做成4″，5″， 6″，8″，10″， 12″ 圓 或 4″，5″，6″， 8″方光束， 光源強度依汞燈功率及光束大小形狀而異，以500W 6″圓之NUV光束的I-line輸出強度約在25~30mW/cm2，均勻性在正負5%以內， 光源平行半角依出光口徑不同約在1.5~3度。

 

可選用光強迴授型電源供應器，以燈箱內部之光強偵測器信號做迴授控制，可使光強輸出長時間穩定，以均勻化的透鏡陣列產生的光束，在做圖形轉移的曝光時可有效降低光的繞射，以達到良好的圖形解析度， 350W/500W平行UV曝光源可應用在半導體實驗室，生產線小型量產測試等黃光製程。