使用1000W高壓汞燈泡，配合本公司之電源供應器，電源可內部切換使用110V，220V，燈箱內部之flyeye透鏡陣列與出光口之透鏡皆使用石英材質，可確保數年之長期使用後UV光強度輸出不至衰減過多。

 

出光口徑可做成4″， 5″， 6″，8″，10″， 12″ 圓 或 4″， 5″， 6″， 8″方形或長方形光束，光源強度依光束大小形狀而異，以1000W 8″圓之NUV光束的I-line輸出強度約在25~30mW/cm2，均勻性在正負5%以內， 光源平行半角依出光口徑不同約在1.5~3度。

 

可選用光強迴授型電源供應器，以燈箱內部之光強偵測器信號做迴授控制，可使光強輸出長時間穩定，以均勻化的flyeye透鏡陣列產生的光束，在做微細圖形轉移的曝光時可有效降低光的繞射，

以達到良好的圖形解析度, 1000W平行UV曝光源可應用在微機電實驗室, 生產線量產等黃光。