紫外光源可採汞燈或UV LED,
汞燈可選: 350W,500W,1000W,2000W,3500W,5000W. UV LED可選: 單燈組16晶粒, 單燈組36晶粒, 四燈組64晶粒, 四燈組144晶粒.
曝光光源尺寸 : 4″,6″,8″,10″,12″ 。
汞燈波長 : NUV (含365nm, 405nm,435nm), UV LED波長: 365nm, 405nm, 365nm+405nm.
光源平行半角 : 1.5~2.5度 (依出光口徑) 。
均勻度 : +-3~5% ,
高壓汞燈電源供應器, 或UV LED電源供應器
光罩真空吸盤 : 4”,5”,7”,9” 下吸式 (選項) 。
晶圓或基板真空吸盤 : 破片,2” 或 4”,5”,6”,8” (選項) ,具光罩與晶圓或基板平行面校正功能,
Z軸可調整約 5mm, 調整解析度 1um, Z軸具千分表可顯示光罩與晶圓間距,
曝光模式有 Soft contact,Proximity, 人工置放晶片或基板與調整晶片位置,取放晶圓時光罩吸盤向上開啟。