5KW UV平行光曝光源

使用5000W高壓汞燈, 配合本公司之電源供應器,電源使用三相220V,燈箱內部之flyeye透鏡陣列與出光口之透鏡皆使用石英材質,可確保數年之長期使用後UV光強度輸出不至衰減過多。

 

出光口徑可做成8“,10”,12“圓,或8”,10“,16”,20“,24”方形或矩形光束,12“大面積超過方形曝光光源的光學元件平行光採用平行鏡,光束強度根據光束尺寸和形狀的不同而變化,12“I-line輸出強度NUV光束側約50~60mW / cm2,均勻度正負5%,光源平行半角依出光口徑不同約在1.5~3度。

 

不同於低功率箱體內部採用循環風冷卻,燈具內部5KW箱體因受熱,使用強制冷卻風扇做有效降低內部溫度,5KW UV平行曝光源可應用在大面積基板曝光或快速曝光之黃光製程量產線。