全自動光罩對準曝光機

適合工業界24小時量產使用
產品簡介:

全自動機型之晶圓傳送為自動輸入與輸出, 自動對位曝光,可一天24小時操作,減少人力需求,提高可靠性,增加產量, 本公司開發之高產量全自動曝光機, 對位製程每小時可產出250片以, 無對位製程每小時可產出350片以上, 產量為業界最高,兩倍於其他廠牌機型。  

紫外光源機型有功率 : 350W,500W,1000W,2000W,3500W,5000W 。

曝光光源尺寸 : 4″,6″,8″,10″,12″。

波長 :  NUV(含365nm, 400nm, 435nm) 光源平行半角:1.5~2.5度(依出光口徑)。

均勻度 : +-3~5% ,高壓汞燈泡及電源供應器。

採用固定倍率鏡頭, 預對台一支或兩支鏡頭做粗定位, 進片位置兩支鏡頭做初步對位, 曝光位置兩支鏡頭做精密對位。

相機可採類比或數位,可使用百萬晝素相機, 由PC之客製化對位軟體,做影像自動對位。

影像打光有 : LED同軸光或環形光, 可選背面對準影像系統機型。

可將來自輸入台的基板作靠邊粗定位, 以便進片手臂送至對準台做精密對準。

左右小手臂可輸入預對台上之基板至對準台, 與取出曝光後之基板至輸出台。

晶舟輸入台由基板推入器將基板傳至預對台.曝光後的基板, 由導出台傳至輸出台之晶舟,未完成之基本移至退片台。

光罩真空吸盤 : 上吸式或下吸式4″, 5″,6″,9″ 。

晶圓真空吸盤 : 2″, 4″, 6″,8″ 具光罩晶圓水平校正功能。

曝光模式可選 : 真空接觸式與近接式, X,Y,T軸馬達調整 10mm,解析度 1um, Z軸馬達調整 5mm,解析度 1um,

上光罩開啟以取放基板, 自動對準動作依自動對準軟體計算結果由PLC控制調整。

PLC及人機界面控制系統和工業電腦之自動對準軟體, 作基板輸出入及對準曝光程序自動操作。

具四個防震氣墊,具調整腳及移動輪, 鋁擠型機架加鋁板及黃色PVC抗靜電包覆機台, 開數個操作與維修門窗及視窗。

產量依對位精度及曝光時間而不同, 近接曝光機型最快可達每分鐘5片,

採真空接觸曝光圖形解析最佳可達 1um以內, 採近接式曝光依晶圓與光罩間距設定約在 5~10um。