使用2000W高壓汞燈， 配合本公司之電源供應器，電源使用三相220V，燈箱內部之flyeye透鏡陣列與出光口之透鏡皆使用石英材質，可確保數年之長期使用後UV光強度輸出不至衰減過多。  

 

出光口徑可做成4″， 5″，6″，8″， 10″， 12″ 圓， 或 4″， 5″， 6″，8″方形或長方形光束，光源強度依光束大小形狀而異，以2000W 6″方之NUV光束的I-line輸出強度約在80~90mW/cm2，

均勻性在正負5%以內， 光源平行半角依出光口徑不同約在1.5~3度。  

 

可選用光強迴授型電源供應器， 以燈箱內部之光強偵測器信號做迴授控制，可使光強輸出長時間穩定，輸出以均勻化的flyeye透鏡陣列產生的光束，在做微細圖形轉移的曝光時可有效降低光的繞射，以達到良好的圖形解析度。

 

2000W UV平行曝光源可應用在大面積基板曝光或快速曝光之黃光製程量產線。