紫外光源可採汞燈或UV LED, 

汞燈可選: 350W，500W，1000W.  UV LED可選: 單燈組16晶粒, 單燈組36晶粒, 四燈組64晶粒.

曝光光源尺寸 : 4″，6″，8″，10″，12″ 。

汞燈波長 : NUV (含365nm， 405nm，435nm), UV LED波長: 365nm, 405nm, 365nm+405nm.

光源平行半角 : 1.5~2.5度 (依出光口徑) 。

均勻度 : +-3~5% ，

高壓汞燈電源供應器, 或UV LED電源供應器

採用可變倍率鏡頭影像系統，總影像倍率 100X-600X 小型高解析黑白CCD攝影機，

19”LCD螢幕 LED同軸光源打光，影像解析度最佳可達 1um 鏡頭位置調整，可前後左右上下微調約 20mm，

可選擇使用一組或兩組影像系統， 選配快速掃描台，可快速移動鏡頭，前後左右移動約 10cm 。

光罩真空吸盤 : 4” ，5″ 或  6” 下吸式 。

晶圓真空吸盤 : 破片，2” ，3″ ，4″ 或  5” ，具光罩與晶圓平行面校正功能，

晶圓真空吸盤可前後左右調整約 10mm，調整靈敏度 1um 旋轉調整約 5 度，

調整靈敏度0.001度 Z軸可調整約 3mm， 調整靈敏度 1um Z軸具千分表可顯示光罩與晶圓間距，

Z軸可設定對準與曝光兩種間隙，可調整接觸真空吸附力大小， 曝光模式有 Vacuum contact， Soft contact，Proximity，

人工置放晶片與調整晶片位置，取放晶圓時光罩吸盤以手開啟 。

採全手動撥鈕操作系統，以手動控制面板操作 。

操作項目包括光罩與晶圓之更換，光罩與晶圓間隙之切換 光罩與晶圓平行面校正，真空接觸之切換與真空值調整Z軸的歸零，

鏡頭與曝光源左右交替移至對準台上方，並有安全互鎖功能 。

桌上型大底板機座，具調整腳 。

採真空接觸曝光圖形解析最佳可達 1um，近接曝光依光罩與晶圓間隙最佳可達 3~5um 。