使用5000W高压汞灯， 配合本公司之电源供应器，电源使用三相220V，灯箱内部之flyeye透镜数组与出光口之透镜皆使用石英材质，可确保数年之长期使用后UV光强度输出不至衰减过多。

 

出光口径可做成8“，10”，12“圆，或8”，10“，16”，20“，24”方形或矩形光束，12“大面积超过方形曝光光源的光学组件平行光采用平行镜，光束强度根据光束尺寸和形状的不同而变化，12“I-line输出强度NUV光束侧约50~60mW / cm2，均匀度正负5％，光源平行半角依出光口径不同约在1.5~3度。

 

不同于低功率箱体内部采用循环风冷却，灯具内部5KW箱体因受热，使用强制冷却风扇做有效降低内部温度，5KW UV平行曝光源可应用在大面积基板曝光或快速曝光之黄光制程量产线。