光罩真空吸盘: 4”,5” 或 6”下吸式
晶圆真空吸盘: 破片2”,3”,4” 或5”
具光罩与晶圆平行面校正功能,
晶圆真空吸盘可前后左右调整约10mm,调整灵敏度1um
旋转调整约5度,调整灵敏度0.001度
Z轴可调整约3mm, 调整灵敏度1um
Z轴具千分表可显示光罩与晶圆间距,Z轴可设定对准与曝光两种间隙,可调整接触真空吸附力大小
曝光模式有Vacuum contact,Soft contact,Proximity 人工置放晶片与调整晶片位置,取放晶圆时光罩吸盘以手开启 。
人工置放晶片与调整晶片位置,取放晶圆时光罩吸盘以手开启。