使用1000W高压汞灯泡，配合本公司之电源供应器，电源可内部切换使用110V，220V，灯箱内部之flyeye透镜阵列与出光口之透镜皆使用石英材质，可确保数年之长期使用后UV光强度输出不至衰减过多。

 

出光口径可做成4″， 5″， 6″，8″，10″， 12″ 圆 或 4″， 5″， 6″， 8″方形或长方形光束，光源强度依光束大小形状而异，以1000W 8″圆之NUV光束的I-line输出强度约在25~30mW/cm2，均匀性在正负5%以内， 光源平行半角依出光口径不同约在1.5~ 3度。

 

可选用光强回授型电源供应器，以灯箱内部之光强侦测器信号做回授控制，可使光强输出长时间稳定，以均匀化的flyeye透镜阵列产生的光束，在做微细图形转移的曝光时可有效降低光的绕射，

以达到良好的图形解析度, 1000W平行UV曝光源可应用在微机电实验室, 生产线量产等黄光。