350W/500W平行UV曝光源

可以切换使用350W,500W 高压汞灯泡,使用本公司之电源供应器, 电源可内部切换使用110V,220V,灯箱内部之flyeye透镜阵列与出光口之透镜皆使用石英材质, 可确保数年之长期使用后UV光强度输出不至衰减过多。

 

出光口径可做成4″,5″, 6″,8″,10″, 12″ 圆 或 4″,5″,6″, 8″方光束, 光源强度依汞灯功率及光束大小形状而异,以500W 6″圆之NUV光束的I-line输出强度约在25~30mW/cm2, 均匀性在正负5%以内, 光源平行半角依出光口径不同约在1.5~3度。

 

可选用光强回授型电源供应器,以灯箱内部之光强侦测器信号做回授控制,可使光强输出长时间稳定,以均匀化的透镜阵列产生的光束,在做图形转移的曝光时可有效降低光的绕射, 以达到良好的图形解析度, 350W/500W平行UV曝光源可应用在半导体实验室,生产线小型量产测试等黄光制程。