紫外光源机型有功率 : 350W,500W,1000W,2000W,3500W,5000W 。
曝光光源尺寸 : 4″,6″,8″,10″,12″ 。
波长 : NUV(含365nm,400nm,435nm),光源平行半角 : 1.5~2.5度(依出光口径) 。
均匀度: +-3~5%,高压汞灯泡及电源供应器。
采用固定倍率镜头, 预对台一支或两支镜头做粗定位, 进片位置两支镜头做初步对位, 曝光位置两支镜头做精密对位。
相机可采类比或数位,可使用百万昼素相机, 由PC之客制化对位软体,做影像自动对位。
影像打光有 : LED同轴光或环形光, 可选背面对准影像系统机型。
光罩真空吸盘 : 上吸式或下吸式 4″, 5″,6″,9″ 。
晶圆真空吸盘 : 2″, 4″, 6″,8″ 具光罩晶圆水平校正功能。
曝光模式可选 : 真空接触式与近接式, X,Y,T轴马达调整 10mm,解析度 1um, Z轴马达调整 5mm,解析度 1um,
上光罩开启以取放基板, 自动对准动作依自动对准软体计算结果由PLC控制调整。