平行出光改采平行反射铝镜，曝光面积可到60cmx60cm， 光源强度以5kW灯泡，60cm方出光之NUV光束的I-line输出强度约在15mW/cm2，

均匀性在正负5~8%， 光源平行半角依出光口径不同约在1.5~2.5度。

适合大面积之基板曝光制程。