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本公司成立于2006年，为一小型之设备制造厂，专精于半导体微影制程之光罩对准曝光机及曝光源之开发制造，从曝光灯箱内的光学设计到各种型式的完整曝光机，本公司经多年努力已完全自行开发完成，并已出货国内外众多客户，深获好评。
信息公告
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常见问题
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2KW电源供应器按下点灯键时会有响亮电击声，是否正常 ?
2KW高压汞灯是一种汞氙灯，点灯时需要2~3万伏的高压，电源供应器产生此高压过程会有响亮电击声，属正常。
开启电源供应器电源，无法点灯，切换电压显示，也没有电压，请问是那边故障?
还未点灯前电压显示应该有超过100V的电压值，若没有电压，可能是后方温度保护开关的线没接好，或是电源供应器本身故障。
曝光源点灯后，电源供应器显示的电压电流值不断变动，功率值也低，是否正常?
汞灯点灯后，由于灯泡刚亮，温度尚低，水银未能挥发成气态，导电介值仍主要是内部之气体，在水银挥发前的过渡期，电压电流会不断变动。
请问同轴打光与环形打光的使用时机各为何?
同轴打光适用于有高反射率的金属的align key，是影像系统打光的bright field，影像品质较佳，环形打光适用于align key有高度差的构造， 是影像系统打光的dark field，影像品质通常较差。
光罩吸盘吸真空固定光罩时会有漏气声，如何排除?
光罩吸盘以真空吸附固定光罩，两者之间需平整不能有微粒存在才能固定良好，可先用溶剂把两者清洁，若仍有漏气，可用钢片等小工具轻括吸盘表面把残胶括除，再用溶剂把两者清洁。
请问安装汞灯泡为何要加装散热器?
汞灯泡位于椭圆镜内之电极因被椭圆镜包围，散热不佳，需加装散热器以加强散热。