我们提供最专业的设计与服务

本公司成立于2006年,为一小型之设备制造厂,专精于半导体微影制程之光罩对准曝光机及曝光源之开发制造,从曝光灯箱内的光学设计到各种型式的完整曝光机,本公司经多年努力已完全自行开发完成,并已出货国内外众多客户,深获好评。

  • 光罩对准曝光机

    高产量全自动曝光机,对位制程每小时可产出250片以上,无对位制程每小时可产出350片以上,全自动机型之晶圆传送为自动输入与输出,产量为业界最高,两倍于其他厂牌机型。

  • 曝光源

    可选用光强回授型电源供应器,以灯箱内部之光强侦测器信号做回授控制,可使光强输出长时间稳定,以均匀化的透镜阵列产生的光束,在做图形转移的曝光时可有效降低光的绕射。

  • 汞灯电源

    数位面板显示输出功率及电压电流值,内部电磁接触器做过载保护,后方接头可输出灯箱散热风扇电源,以及灯箱过温保护互锁线路,操作性能良好,稳定性佳,耐用度高,最适合生产线使用。

  • 零组件

    目前没有内容,也不知道要写啥,就随便写写吧,以占据版面。 但许多方面来说,当我们搭上外滩人行道后,有正式的舞蹈表演,每个人最终都会鼓掌,我建立这间公司,酷 !!

常见问题 More
光罩需如何固定?

光罩以真空吸附于吸盘上,下吸式吸盘先以手由下方托着光罩,将光罩贴附于吸盘下方,侧边顶住定位小螺丝,再开启真空,上吸式吸盘先将光罩置于吸盘上,侧边顶住定位小螺丝,再开启真空。

请问安装汞灯泡为何要加装散热器?

汞灯泡位于椭圆镜内之电极因被椭圆镜包围,散热不佳,需加装散热器以加强散热。

请问高压汞灯电源供应器维修需时多久?

约要一个星期来修。

对准台进行对位调整时,前后左右旋转三轴的调整顺序是如何?

一般是先调整前后与旋转,调到两组aign key接近平行,再换手调整前后与左右,不断重覆调整到两组alig key都到定位。

请问何时适合使用一支对准镜头?

做晶圆破片对位时,两支镜头因间距限制,无法同时看到左右影像,适合使用一支镜头,左右调整移动镜头来观看对准情形,可配合使用快速扫描台加快对位速度。

我把镜头倍率调大希望提高影像解析度,但光罩与基板的影像无法同时清晰,请问有什么办法?

影像倍率加大则影像景深会变小,可把align gap调小以得到清晰的光罩与基板影像,但要注意避免align gap太小而造成两者的接触磨擦。