本公司成立于2006年,为一小型之设备制造厂,专精于半导体微影制程之光罩对准曝光机及曝光源之开发制造,从曝光灯箱内的光学设计到各种型式的完整曝光机,本公司经多年努力已完全自行开发完成,并已出货国内外众多客户,深获好评。
光罩以真空吸附于吸盘上,下吸式吸盘先以手由下方托着光罩,将光罩贴附于吸盘下方,侧边顶住定位小螺丝,再开启真空,上吸式吸盘先将光罩置于吸盘上,侧边顶住定位小螺丝,再开启真空。
汞灯泡位于椭圆镜内之电极因被椭圆镜包围,散热不佳,需加装散热器以加强散热。
约要一个星期来修。
一般是先调整前后与旋转,调到两组aign key接近平行,再换手调整前后与左右,不断重覆调整到两组alig key都到定位。
做晶圆破片对位时,两支镜头因间距限制,无法同时看到左右影像,适合使用一支镜头,左右调整移动镜头来观看对准情形,可配合使用快速扫描台加快对位速度。
影像倍率加大则影像景深会变小,可把align gap调小以得到清晰的光罩与基板影像,但要注意避免align gap太小而造成两者的接触磨擦。