曝光源问题 - 常见问题

Q. 请问我的光阻有I-line与H-line两种,请问你们有适合的曝光源吗?

我们的标准曝光源,波长范围为NUV(Near UV)含有I-line, H-line, G-line三个光束,适用你们的需求。

Q. 我要曝光的基板是6吋方, I-line曝光的能量约150mJ/cm2,请问适合的曝光源是那种?

若您是用在量产线,建议您使用1000W 6吋方曝光机,I-line光强度约40mW/cm2,曝光时间约4秒钟。

Q. 你们的NUV曝光源含有三种光束,我的光阻是I-line光阻,需要用滤镜把另两种光束滤掉吗?

一般曝光制程不需使用滤镜,I-line光阻使用NUV光源曝光效果正常,若您要测试光阻的材料性能,可以用滤镜把另两道光束滤除,以减少测试因素。

Q. 使用I-line滤镜把NUV的另两种波长滤除,为什么I-line的强度会降低

I-line滤镜会挡掉大部份H-line与G-line两种波长,而让约70%的I-line波长通过,但难免会挡掉一小部份I-line波长,目前尚无100%通过的滤镜。

Q. 我的500W汞灯泡使用时数已到800小时要更换了,但除强度比新灯降低外,其他看起来都还好,可否继续使用下去?

汞灯泡使用时间久后,除强度降低,也会有灯泡表面过热与熄灯或点不着等风险,建议使用时数到时就要准备更换。

Q. 我的曝光源使用几个钟头后就熄灯,再点灯又正常,请问是什么问题?

请检查散热风扇,可能是风路被挡住造成灯箱内部过热而启动温度保护开关,造成电源供应器跳脱。

Q. 我的曝光源点灯后出光强度一直很低,等了快一个钟头都没有改善,请问是什么问题?

可能是因为灯泡温度一直过冷,里面的水银无法挥发,请检查散热风扇或抽风管,降低灯箱散热风速,让灯泡能热起来。

Q. 请问你们曝光灯箱使用那家的高压汞灯?

我们一般使用美国ARC的汞灯泡,若需使用Ushio, Osram等厂牌汞灯泡,我们也可以配合设计制作。

Q. 我们的曝光灯箱内的汞灯在使用中爆炸了,处理程序如何?

汞灯内含水银,在高热状态爆炸,水银会以雾化状散开,若灯箱有连接抽风管,可待抽风约30分钟后再清理灯箱内部,若灯箱散热风直接排于室内, 应疏散人员并等室内空气排出后再行清理灯箱内部,清理灯泡碎屑应注意安全勿遭割伤,清除完后可用布把UV镜与椭圆镜稍加擦拭, 并注意排除可能造成爆灯的因素,再换上新灯泡重新点灯操作。

Q. 我在换灯泡时手指不小心碰到灯泡,请问要如何处理?

换灯泡时要戴上手套并避免接触灯泡中央球体部份,若手指不小心碰到灯泡,可以布沾溶剂清除灯泡上的薄油脂,以免产生爆炸风险。

Q. 请问UV镜与椭圆镜要多久更换?

一般正常使用,UV镜与椭圆镜可以使用好几年,若是发生出光强度明显减弱,可查看椭圆镜?部表面镀膜是否有过热变黑或漏酸腐蚀情形,定再决定是否更换。

Q. 请问汞灯泡的使用时数是多少?

依灯泡厂的规格,350W灯泡是600小时,500W灯泡是800小时,1000W以上灯泡是1000小时左右。

Q. 请问安装汞灯泡为何要加装散热器?

汞灯泡位于椭圆镜内之电极因被椭圆镜包围,散热不佳,需加装散热器以加强散热。