使用2000W高压汞灯， 配合本公司之电源供应器，电源使用三相220V，灯箱内部之flyeye透镜阵列与出光口之透镜皆使用石英材质，可确保数年之长期使用后UV光强度输出不至衰减过多。

 

出光口径可做成4″， 5″，6″，8″， 10″， 12″ 圆， 或 4″， 5″， 6″，8″方形或长方形光束，光源强度依光束大小形状而异，以2000W 6″方之NUV光束的I-line输出强度约在80~90mW/cm2，

均匀性在正负5%以内， 光源平行半角依出光口径不同约在1.5~3度。

 

可选用光强回授型电源供应器， 以灯箱内部之光强侦测器信号做回授控制，可使光强输出长时间稳定，输出以均匀化的flyeye透镜阵列产生的光束，在做微细图形转移的曝光时可有效降低光的绕射，以达到良好的图形解析度。

 

2000W UV平行曝光源可应用在大面积基板曝光或快速曝光之黄光制程量产线。