采用可变倍率镜头影像系统,总影像倍率100X-600X, 小型高解析黑白CCD摄影机,
19”LCD荧幕 LED同轴光源打光,影像解析度最佳可达 1um 镜头位置调整,可前后左右上下微调约 20mm ,
可选择使用一组或两组影像系统, 选配快速扫描台,可快速移动镜头,前后左右移动约 10cm 。
光罩真空吸盘 : 4”,5″, 6” 下吸式 。
晶圆真空吸盘 : 破片,2”,3″ ,4″ 或 5” ,具光罩与晶圆平行面校正功能,
晶圆真空吸盘可前后左右调整约 10mm,调整灵敏度 1um 旋转调整约 5度,
调整灵敏度 0.001度 Z轴可调整约 3mm, 调整灵敏度 1um, Z轴具千分表可显示光罩与晶圆间距, Z轴可设定对准与曝光两种间隙,
可调整接触真空吸附力大小, 曝光模式有 Vacuum contact,Soft contact, Proximity,
人工置放晶片与调整晶片位置,取放晶圆时光罩吸盘以手开启。