曝光机问题 - 常见问题
Q. 请问我们是经费不多的半导体实验室，想买一台基本功能都有的曝光机，你们有适合的机型吗?
可以考虑我们的桌上型曝光机。
Q. 请问你们有没有晶圆正反两面同时曝光的机型?
我们有双面曝光曝光机，可做对位与曝光。
Q. 请问我只要测光阻材料在不同gap时曝光的特性，有适合的机型吗?
我们有简易曝光机，没有影像对位功能，可适合您的应用。
Q. 请问我的晶圆需要用背面的align key来做对位，有适合的机型吗?
我们的双面对准曝光机，有背对准镜头组可用来做背面对位。
Q. 请问你们的半自动曝光机产能是多少?
若您的对位精度不需要很高，熟练的操作员一分钟最快可以做完3片。