对准台问题 - 常见问题

Q. 光罩需如何固定?

光罩以真空吸附于吸盘上,下吸式吸盘先以手由下方托着光罩,将光罩贴附于吸盘下方,侧边顶住定位小螺丝,再开启真空,上吸式吸盘先将光罩置于吸盘上,侧边顶住定位小螺丝,再开启真空。

Q. 对准台光罩吸盘盖下后,会听到chuck有声音,正常吗?

光罩与基板欲进行真空吸附,chuck四周会有膜片封住,在对位时,需有吹气破真空,以防止光罩与基板因膜片产生的真空而贴合阻碍对位进行, 吹气时膜片会震动而发声,可调整吹气的大小以减低音量。

Q. 光罩与晶圆进行真空吸附时,以眼观看发觉吸附不良,真空表的值也比正常值小,真空膜片也没有内凹,需如何处理?

先检查真空膜片是否有裂痕而需更换,若真空膜片良好也放置妥当,可再试着调整吸附真空,若情形无改善,可能是管路阻塞,需拆管路清洁。

Q. 对准台进行对位调整时,前后左右旋转三轴的调整顺序是如何?

一般是先调整前后与旋转,调到两组aign key接近平行,再换手调整前后与左右,不断重覆调整到两组alig key都到定位。

Q. 置放晶圆要用什么工具?

晶圆的置放可用平嘴镊子夹晶圆边,若是线路对微粒容忍比较高的制程甚至可以用载手套的手取放晶圆。

Q. 光罩吸盘吸真空固定光罩时会有漏气声,如何排除?

光罩吸盘以真空吸附固定光罩,两者之间需平整不能有微粒存在才能固定良好,可先用溶剂把两者清洁,若仍有漏气,可用钢片等小工具轻括吸盘表面把残胶括除,再用溶剂把两者清洁。