影像问题 - 常见问题
Q. 请问使用两支对准镜头的好处在那?
使用两支对准镜头可同时看到左右两个align key，对位调整比较快。
Q. 请问何时适合使用一支对准镜头?
做晶圆破片对位时，两支镜头因间距限制，无法同时看到左右影像，适合使用一支镜头，左右调整移动镜头来观看对准情形，可配合使用快速扫描台加快对位速度。
Q. 我的快速扫描台无法良好锁定，在镜头座汽缸移动时，镜头的定位会左右偏移，请问是那边故障?
应该是快速扫描台内部的夹紧汽缸无法确实锁定，请检查气压是否不足，是否有漏气，也有可能是夹紧汽缸的橡胶老化需要更换。
Q. 镜头倍率应该调整多大才适合?
可调整倍率使align key的影像约占荧幕的1/4~1/2大小，以容易找到align key的前提下尽量提高倍率以增加解析度。
Q. 我把镜头倍率调大希望提高影像解析度，但光罩与基板的影像无法同时清晰，请问有什么办法?
影像倍率加大则影像景深会变小，可把align gap调小以得到清晰的光罩与基板影像，但要注意避免align gap太小而造成两者的接触磨擦。
Q. 请问同轴打光与环形打光的使用时机各为何?
同轴打光适用于有高反射率的金属的align key，是影像系统打光的bright field，影像品质较佳，环形打光适用于align key有高度差的构造， 是影像系统打光的dark field，影像品质通常较差。