顯微影像系統

顯微影像系統採用可調倍率之鏡頭+CCD+顯示螢幕的影像系統，
可設計符合對準align key大小的倍率，一般倍率有 50X-300X， 100X-600X。
鏡頭可做前後左右之微調以尋找align key，可做上下微調以對焦。

一般採用雙鏡頭設計以方便對準之進行，若採單鏡頭設計，可選用鏡頭掃描台做左右快速移動，
背面對準系統亦可採用可調倍率之影像系統，調至小倍率可加快align key之尋找，調至大倍率可得高解析之對準。