本公司具UV曝光源之設計與製作能力，所用高壓汞燈的功率有350W、500W、1000W、2000W、3500W、5000W，

出光大小有4″、6″、,8″、12″圓形光束，或4″、6″、8″方形光束。

光源強度依汞燈功率及光束大小形狀而異，以350W 4″圓之NUV光束的I-line輸出強度約在30mW/cm2，

1000W 6″方之NUV光束的I-line 輸出強度約在40mW/cm2，均勻性在正負5%以內，光源平行半角依出光口徑不同約在1.5~3度。

以均勻化的透鏡陣列產生的光束，在做圖形轉移的曝光時可有效降低光的繞射，以達到良好的圖形解析度。