对准治具

晶圆与光罩采真空吸附于晶圆座与光罩座上，可制作各种尺寸之晶圆座与光罩座。
晶圆座可做X，Y，Z，δ之调整。
晶圆与光罩可做平行校正以达到曝光最佳之解析度。
曝光模式有真空吸附，直接接触及近接方式。