本公司具UV曝光源之设计与制作能力，所用高压汞灯的功率有350W、500W、1000W、2000W、3500W、5000W，

出光大小有4″、6″、,8″、12″圆形光束，或4″、6″、8″方形光束。

光源强度依汞灯功率及光束大小形状而异，以350W 4″圆之NUV光束的I-line输出强度约在30mW/cm2，

1000W 6″方之NUV光束的I-line 输出强度约在40mW/cm2，均匀性在正负5%以内，光源平行半角依出光口径不同约在1.5~3度。

以均匀化的透镜阵列产生的光束，在做图形转移的曝光时可有效降低光的绕射，以达到良好的图形解析度。