2012-01-10
德扬推出近接式全自动曝光机 高产能单曝光源单对准台最高产能每分钟6片基板

德扬光电研制紫外光平行曝光源、高解析光罩对准曝光机等,获得研发单位及产业界采用,在陶瓷散热元件、石英元件、精密金属膜仁、LED、功率二极体、雷射二极体及手机触控面板等产业均有出货实绩。德扬经理朱仁亮表示,德扬制造光罩对准曝光机及曝光源已有6年,产品有适合研究实验室的全手动机型,及产业界生产线的半自动与全自动机型,并持续研发新机种,去年新推出近接式全自动曝光机,单曝光源单对准台设计最高产能可达每分钟6片基板,为其他厂牌的2~3倍产能。德扬的紫外光平行曝光源功率350瓦至5,000瓦,出光口径4吋到12吋;光罩对准曝光机有单面、双面对准、双面曝光等多种制程功能,多种机型可供选择。

台湾曝光机厂在微米等级线宽制程、各式电子元件使用的曝光机技术已可掌握,具有价廉物美与在地服务优势,逐渐取代国外设备;德扬以小而美为经营定位,一步一脚印投入研发制造,在大厂竞争中找到利基市场。德扬的光罩对准曝光机适用于LED及二极体等电子元件,及陶瓷、石英、玻璃、薄金属板等各种基板线路制作,获得企业信赖及订单,学校研究实验室及产业界采用后均给予正面评价。