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本公司成立於2006年，為一小型之設備製造廠，專精於半導體微影製程之光罩對準曝光機及曝光源之開發製造，從曝光燈箱內的光學設計到各種型式的完整曝光機，本公司經多年努力已完全自行開發完成，並已出貨國內外眾多客戶，深獲好評。

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  • 光罩對準曝光機

    高產量全自動曝光機，對位製程每小時可產出250片以上，無對位製程每小時可產出350片以上，全自動機型之晶圓傳送為自動輸入與輸出，產量為業界最高，兩倍於其他廠牌機型。

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  • 曝光源

    可選用光強回授型電源供應器，以燈箱內部之光強偵測器信號做回授控制，可使光強輸出長時間穩定，以均勻化的透鏡陣列產生的光束，在做圖形轉移的曝光時可有效降低光的繞射。

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  • 汞燈電源

    數位面板顯示輸出功率及電壓電流值，內部電磁接觸器做過載保護，後方接頭可輸出燈箱散熱風扇電源，以及燈箱過溫保護互鎖線路，操作性能良好，穩定性佳,耐用度高，最適合生產線使用。

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  • 零組件

    燈箱零件如:汞燈,橢圓鏡,UV鏡, 曝光機零件如: 光罩吸盤,晶圓chuck,鏡頭等

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訊息公告 More
常見問題 More
請問我的光阻有I-line與H-line兩種，請問你們有適合的曝光源嗎?

我們的標準曝光源，波長範圍為NUV(Near UV)含有I-line， H-line， G-line三個光束，適用你們的需求。

曝光源點燈後，電源供應器顯示的電壓電流值不斷變動，功率值也低，是否正常?

汞燈點燈後，由於燈泡剛亮，溫度尚低，水銀未能揮發成氣態，導電介值仍主要是內部之氣體，在水銀揮發前的過渡期，電壓電流會不斷變動。

請問高壓汞燈電源供應器維修需時多久?

約要一個星期來修。

光罩需如何固定?

光罩以真空吸附於吸盤上，下吸式吸盤先以手由下方托著光罩，將光罩貼附於吸盤下方，側邊頂住定位小螺絲，再開啟真空，上吸式吸盤先將光罩置於吸盤上，側邊頂住定位小螺絲，再開啟真空。

我的500W汞燈泡使用時數已到800小時要更換了，但除強度比新燈降低外，其他看起來都還好，可否繼續使用下去?

汞燈泡使用時間久後，除強度降低，也會有燈泡表面過熱與熄燈或點不著等風險，建議使用時數到時就要準備更換。

請問你們還有中古曝光機或中古曝光源嗎?

我們偶爾會購進中古機，但通常沒有存貨。