我們提供最專業的設計與服務
本公司成立於2006年，為一小型之設備製造廠，專精於半導體微影製程之光罩對準曝光機及曝光源之開發製造，從曝光燈箱內的光學設計到各種型式的完整曝光機，本公司經多年努力已完全自行開發完成，並已出貨國內外眾多客戶，深獲好評。
訊息公告
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常見問題
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請問使用兩支對準鏡頭的好處在那?
使用兩支對準鏡頭可同時看到左右兩個align key，對位調整比較快。
曝光源使用約1個小時，會自行熄滅，請問是那邊故障?
曝光源燈箱內部有溫度保護開關，以防止燈泡過熱爆炸，若是燈箱散熱不良，溫度溫度到達保護開關的設定，電源供應器就會跳脫。
請問我只要測光阻材料在不同gap時曝光的特性，有適合的機型嗎?
我們有簡易曝光機，沒有影像對位功能，可適合您的應用。
請問同軸打光與環形打光的使用時機各為何?
同軸打光適用於有高反射率的金屬的align key，是影像系統打光的bright field，影像品質較佳，環形打光適用於align key有高度差的構造， 是影像系統打光的dark field，影像品質通常較差。
我們的曝光燈箱內的汞燈在使用中爆炸了，處理程序如何?
汞燈內含水銀，在高熱狀態爆炸，水銀會以霧化狀散開，若燈箱有連接抽風管，可待抽風約30分鐘後再清理燈箱內部，若燈箱散熱風直接排於室內， 應疏散人員並等室內空氣排出後再行清理燈箱內部，清理燈泡碎屑應注意安全勿遭割傷，清除完後可用布把UV鏡與橢圓鏡稍加擦拭， 並注意排除可能造成爆燈的因素，再換上新燈泡重新點燈操作。
請問我的高壓汞燈電源供應器有問題，但不是貴公司的產品，可以幫我維修嗎?
我們可以幫忙維修，要收維修費。