我們提供最專業的設計與服務
本公司成立於2006年，為一小型之設備製造廠，專精於半導體微影製程之光罩對準曝光機及曝光源之開發製造，從曝光燈箱內的光學設計到各種型式的完整曝光機，本公司經多年努力已完全自行開發完成，並已出貨國內外眾多客戶，深獲好評。
訊息公告
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常見問題
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我的曝光源點燈後出光強度一直很低，等了快一個鐘頭都沒有改善，請問是什麼問題?
可能是因為燈泡溫度一直過冷，裡面的水銀無法揮發，請檢查散熱風扇或抽風管，降低燈箱散熱風速，讓燈泡能熱起來。
請問我的高壓汞燈電源供應器有問題，但不是貴公司的產品，可以幫我維修嗎?
我們可以幫忙維修，要收維修費。
請問你們曝光燈箱使用那家的高壓汞燈?
我們一般使用美國ARC的汞燈泡，若需使用Ushio， Osram等廠牌汞燈泡，我們也可以配合設計製作。
我的快速掃描台無法良好鎖定，在鏡頭座汽缸移動時，鏡頭的定位會左右偏移，請問是那邊故障?
應該是快速掃描台內部的夾緊汽缸無法確實鎖定，請檢查氣壓是否不足，是否有漏氣，也有可能是夾緊汽缸的橡膠老化需要更換。
我把鏡頭倍率調大希望提高影像解析度，但光罩與基板的影像無法同時清晰，請問有什麼辦法?
影像倍率加大則影像景深會變小，可把align gap調小以得到清晰的光罩與基板影像，但要注意避免align gap太小而造成兩者的接觸磨擦。
請問我的晶圓需要用背面的align key來做對位，有適合的機型嗎?
我們的雙面對準曝光機，有背對準鏡頭組可用來做背面對位。