我們提供最專業的設計與服務

本公司成立於2006年，為一小型之設備製造廠，專精於半導體微影製程之光罩對準曝光機及曝光源之開發製造，從曝光燈箱內的光學設計到各種型式的完整曝光機，本公司經多年努力已完全自行開發完成，並已出貨國內外眾多客戶，深獲好評。

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  • 光罩對準曝光機

    高產量全自動曝光機，對位製程每小時可產出250片以上，無對位製程每小時可產出350片以上，全自動機型之晶圓傳送為自動輸入與輸出，產量為業界最高，兩倍於其他廠牌機型。

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  • 曝光源

    可選用光強回授型電源供應器，以燈箱內部之光強偵測器信號做回授控制，可使光強輸出長時間穩定，以均勻化的透鏡陣列產生的光束，在做圖形轉移的曝光時可有效降低光的繞射。

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  • 汞燈電源

    數位面板顯示輸出功率及電壓電流值，內部電磁接觸器做過載保護，後方接頭可輸出燈箱散熱風扇電源，以及燈箱過溫保護互鎖線路，操作性能良好，穩定性佳,耐用度高，最適合生產線使用。

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  • 零組件

    燈箱零件如:汞燈,橢圓鏡,UV鏡, 曝光機零件如: 光罩吸盤,晶圓chuck,鏡頭等

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訊息公告 More
常見問題 More
請問我的高壓汞燈電源供應器有問題，但不是貴公司的產品，可以幫我維修嗎?

我們可以幫忙維修，要收維修費。

曝光源點燈後，電源供應器顯示的電壓電流值不斷變動，功率值也低，是否正常?

汞燈點燈後，由於燈泡剛亮，溫度尚低，水銀未能揮發成氣態，導電介值仍主要是內部之氣體，在水銀揮發前的過渡期，電壓電流會不斷變動。

請問我的晶圓需要用背面的align key來做對位，有適合的機型嗎?

我們的雙面對準曝光機，有背對準鏡頭組可用來做背面對位。

請問安裝汞燈泡為何要加裝散熱器?

汞燈泡位於橢圓鏡內之電極因被橢圓鏡包圍，散熱不佳，需加裝散熱器以加強散熱。

請問你們的付款條件是?

台灣客戶通常是預付30%，交機40%，驗收30%。

請問你們曝光燈箱使用那家的高壓汞燈?

我們一般使用美國ARC的汞燈泡，若需使用Ushio， Osram等廠牌汞燈泡，我們也可以配合設計製作。