我們提供最專業的設計與服務

本公司成立於2006年，為一小型之設備製造廠，專精於半導體微影製程之光罩對準曝光機及曝光源之開發製造，從曝光燈箱內的光學設計到各種型式的完整曝光機，本公司經多年努力已完全自行開發完成，並已出貨國內外眾多客戶，深獲好評。

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  • 光罩對準曝光機

    高產量全自動曝光機，對位製程每小時可產出250片以上，無對位製程每小時可產出350片以上，全自動機型之晶圓傳送為自動輸入與輸出，產量為業界最高，兩倍於其他廠牌機型。

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  • 曝光源

    可選用光強回授型電源供應器，以燈箱內部之光強偵測器信號做回授控制，可使光強輸出長時間穩定，以均勻化的透鏡陣列產生的光束，在做圖形轉移的曝光時可有效降低光的繞射。

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  • 汞燈電源

    數位面板顯示輸出功率及電壓電流值，內部電磁接觸器做過載保護，後方接頭可輸出燈箱散熱風扇電源，以及燈箱過溫保護互鎖線路，操作性能良好，穩定性佳,耐用度高，最適合生產線使用。

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  • 零組件

    燈箱零件如:汞燈,橢圓鏡,UV鏡, 曝光機零件如: 光罩吸盤,晶圓chuck,鏡頭等

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訊息公告 More
常見問題 More
曝光源點燈後，電源供應器顯示的電壓電流值不斷變動，功率值也低，是否正常?

汞燈點燈後，由於燈泡剛亮，溫度尚低，水銀未能揮發成氣態，導電介值仍主要是內部之氣體，在水銀揮發前的過渡期，電壓電流會不斷變動。

請問可以向你們購買曝光源組裝到我們的機台上再交貨給客戶嗎?

若你們的機台與我們的產品沒有業務衝突，歡迎購買我們的曝光源。

請問你們有沒有晶圓正反兩面同時曝光的機型?

我們有雙面曝光曝光機，可做對位與曝光。

使用I-line濾鏡把NUV的另兩種波長濾除，為什麼I-line的強度會降低

I-line濾鏡會擋掉大部份H-line與G-line兩種波長，而讓約70%的I-line波長通過，但難免會擋掉一小部份I-line波長，目前尚無100%通過的濾鏡。

請問你們機台的製作時間要多久?

手動機通常是下單後2~3個月，全自動機通常是下單後5~6個月。

我的快速掃描台無法良好鎖定，在鏡頭座汽缸移動時，鏡頭的定位會左右偏移，請問是那邊故障?

應該是快速掃描台內部的夾緊汽缸無法確實鎖定，請檢查氣壓是否不足，是否有漏氣，也有可能是夾緊汽缸的橡膠老化需要更換。