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本公司成立於2006年，為一小型之設備製造廠，專精於半導體微影製程之光罩對準曝光機及曝光源之開發製造，從曝光燈箱內的光學設計到各種型式的完整曝光機，本公司經多年努力已完全自行開發完成，並已出貨國內外眾多客戶，深獲好評。
訊息公告
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常見問題
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使用I-line濾鏡把NUV的另兩種波長濾除，為什麼I-line的強度會降低
I-line濾鏡會擋掉大部份H-line與G-line兩種波長，而讓約70%的I-line波長通過，但難免會擋掉一小部份I-line波長，目前尚無100%通過的濾鏡。
我的快速掃描台無法良好鎖定，在鏡頭座汽缸移動時，鏡頭的定位會左右偏移，請問是那邊故障?
應該是快速掃描台內部的夾緊汽缸無法確實鎖定，請檢查氣壓是否不足，是否有漏氣，也有可能是夾緊汽缸的橡膠老化需要更換。
請問汞燈泡的使用時數是多少?
依燈泡廠的規格，350W燈泡是600小時，500W燈泡是800小時，1000W以上燈泡是1000小時左右。
開啟電源供應器電源，無法點燈，切換電壓顯示，也沒有電壓，請問是那邊故障?
還未點燈前電壓顯示應該有超過100V的電壓值，若沒有電壓，可能是後方溫度保護開關的線沒接好，或是電源供應器本身故障。
我把鏡頭倍率調大希望提高影像解析度，但光罩與基板的影像無法同時清晰，請問有什麼辦法?
影像倍率加大則影像景深會變小，可把align gap調小以得到清晰的光罩與基板影像，但要注意避免align gap太小而造成兩者的接觸磨擦。
光罩吸盤吸真空固定光罩時會有漏氣聲，如何排除?
光罩吸盤以真空吸附固定光罩，兩者之間需平整不能有微粒存在才能固定良好，可先用溶劑把兩者清潔，若仍有漏氣，可用鋼片等小工具輕括吸盤表面把殘膠括除，再用溶劑把兩者清潔。