我們提供最專業的設計與服務

本公司成立於2006年，為一小型之設備製造廠，專精於半導體微影製程之光罩對準曝光機及曝光源之開發製造，從曝光燈箱內的光學設計到各種型式的完整曝光機，本公司經多年努力已完全自行開發完成，並已出貨國內外眾多客戶，深獲好評。

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  • 光罩對準曝光機

    高產量全自動曝光機，對位製程每小時可產出250片以上，無對位製程每小時可產出350片以上，全自動機型之晶圓傳送為自動輸入與輸出，產量為業界最高，兩倍於其他廠牌機型。

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  • 曝光源

    可選用光強回授型電源供應器，以燈箱內部之光強偵測器信號做回授控制，可使光強輸出長時間穩定，以均勻化的透鏡陣列產生的光束，在做圖形轉移的曝光時可有效降低光的繞射。

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  • 汞燈電源

    數位面板顯示輸出功率及電壓電流值，內部電磁接觸器做過載保護，後方接頭可輸出燈箱散熱風扇電源，以及燈箱過溫保護互鎖線路，操作性能良好，穩定性佳,耐用度高，最適合生產線使用。

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  • 零組件

    燈箱零件如:汞燈,橢圓鏡,UV鏡, 曝光機零件如: 光罩吸盤,晶圓chuck,鏡頭等

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訊息公告 More
常見問題 More
使用I-line濾鏡把NUV的另兩種波長濾除，為什麼I-line的強度會降低

I-line濾鏡會擋掉大部份H-line與G-line兩種波長，而讓約70%的I-line波長通過，但難免會擋掉一小部份I-line波長，目前尚無100%通過的濾鏡。

請問汞燈泡的使用時數是多少?

依燈泡廠的規格，350W燈泡是600小時，500W燈泡是800小時，1000W以上燈泡是1000小時左右。

請問我的高壓汞燈電源供應器有問題，但不是貴公司的產品，可以幫我維修嗎?

我們可以幫忙維修，要收維修費。

2KW電源供應器按下點燈鍵時會有響亮電擊聲，是否正常 ?

2KW高壓汞燈是一種汞氙燈，點燈時需要2~3萬伏的高壓，電源供應器產生此高壓過程會有響亮電擊聲，屬正常。

光罩吸盤吸真空固定光罩時會有漏氣聲，如何排除?

光罩吸盤以真空吸附固定光罩，兩者之間需平整不能有微粒存在才能固定良好，可先用溶劑把兩者清潔，若仍有漏氣，可用鋼片等小工具輕括吸盤表面把殘膠括除，再用溶劑把兩者清潔。

請問同軸打光與環形打光的使用時機各為何?

同軸打光適用於有高反射率的金屬的align key，是影像系統打光的bright field，影像品質較佳，環形打光適用於align key有高度差的構造， 是影像系統打光的dark field，影像品質通常較差。