我們提供最專業的設計與服務

本公司成立於2006年，為一小型之設備製造廠，專精於半導體微影製程之光罩對準曝光機及曝光源之開發製造，從曝光燈箱內的光學設計到各種型式的完整曝光機，本公司經多年努力已完全自行開發完成，並已出貨國內外眾多客戶，深獲好評。

聯絡我們

  • 光罩對準曝光機

    高產量全自動曝光機，對位製程每小時可產出250片以上，無對位製程每小時可產出350片以上，全自動機型之晶圓傳送為自動輸入與輸出，產量為業界最高，兩倍於其他廠牌機型。

    詳細內容

  • 曝光源

    可選用光強回授型電源供應器，以燈箱內部之光強偵測器信號做回授控制，可使光強輸出長時間穩定，以均勻化的透鏡陣列產生的光束，在做圖形轉移的曝光時可有效降低光的繞射。

    詳細內容

  • 汞燈電源

    數位面板顯示輸出功率及電壓電流值，內部電磁接觸器做過載保護，後方接頭可輸出燈箱散熱風扇電源，以及燈箱過溫保護互鎖線路，操作性能良好，穩定性佳,耐用度高，最適合生產線使用。

    詳細內容

  • 零組件

    燈箱零件如:汞燈,橢圓鏡,UV鏡, 曝光機零件如: 光罩吸盤,晶圓chuck,鏡頭等

    詳細內容
訊息公告 More
常見問題 More
你們的NUV曝光源含有三種光束，我的光阻是I-line光阻，需要用濾鏡把另兩種光束濾掉嗎?

一般曝光製程不需使用濾鏡，I-line光阻使用NUV光源曝光效果正常，若您要測試光阻的材料性能，可以用濾鏡把另兩道光束濾除，以減少測試因素。

請問安裝汞燈泡為何要加裝散熱器?

汞燈泡位於橢圓鏡內之電極因被橢圓鏡包圍，散熱不佳，需加裝散熱器以加強散熱。

請問我的晶圓需要用背面的align key來做對位，有適合的機型嗎?

我們的雙面對準曝光機，有背對準鏡頭組可用來做背面對位。

光罩需如何固定?

光罩以真空吸附於吸盤上，下吸式吸盤先以手由下方托著光罩，將光罩貼附於吸盤下方，側邊頂住定位小螺絲，再開啟真空，上吸式吸盤先將光罩置於吸盤上，側邊頂住定位小螺絲，再開啟真空。

曝光源點燈後，電源供應器顯示的功率值一直很低，長時間仍無法到達設定值，請問是那邊故障?

汞燈點燈後，需待燈泡溫度上升，水銀完全揮發成氣態，功率才能到達設定值，若散熱風速太強造成燈泡無法升溫，功率就無法上升，光束強度也會非常弱。

請問我只要測光阻材料在不同gap時曝光的特性，有適合的機型嗎?

我們有簡易曝光機，沒有影像對位功能，可適合您的應用。