我們提供最專業的設計與服務
本公司成立於2006年，為一小型之設備製造廠，專精於半導體微影製程之光罩對準曝光機及曝光源之開發製造，從曝光燈箱內的光學設計到各種型式的完整曝光機，本公司經多年努力已完全自行開發完成，並已出貨國內外眾多客戶，深獲好評。
訊息公告
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常見問題
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請問你們的半自動曝光機產能是多少?
若您的對位精度不需要很高，熟練的操作員一分鐘最快可以做完3片。
請問UV鏡與橢圓鏡要多久更換?
一般正常使用，UV鏡與橢圓鏡可以使用好幾年，若是發生出光強度明顯減弱，可查看橢圓鏡?部表面鍍膜是否有過熱變黑或漏酸腐蝕情形，定再決定是否更換。
請問可以向你們購買曝光源組裝到我們的機台上再交貨給客戶嗎?
若你們的機台與我們的產品沒有業務衝突，歡迎購買我們的曝光源。
對準台光罩吸盤蓋下後，會聽到chuck有聲音，正常嗎?
光罩與基板欲進行真空吸附，chuck四週會有膜片封住，在對位時，需有吹氣破真空，以防止光罩與基板因膜片產生的真空而貼合阻礙對位進行， 吹氣時膜片會震動而發聲，可調整吹氣的大小以減低音量。
我在換燈泡時手指不小心碰到燈泡，請問要如何處理?
換燈泡時要戴上手套並避免接觸燈泡中央球體部份，若手指不小心碰到燈泡，可以布沾溶劑清除燈泡上的薄油脂，以免產生爆炸風險。
我的500W汞燈泡使用時數已到800小時要更換了，但除強度比新燈降低外，其他看起來都還好，可否繼續使用下去?
汞燈泡使用時間久後，除強度降低，也會有燈泡表面過熱與熄燈或點不著等風險，建議使用時數到時就要準備更換。