我們提供最專業的設計與服務
本公司成立於2006年，為一小型之設備製造廠，專精於半導體微影製程之光罩對準曝光機及曝光源之開發製造，從曝光燈箱內的光學設計到各種型式的完整曝光機，本公司經多年努力已完全自行開發完成，並已出貨國內外眾多客戶，深獲好評。
訊息公告
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常見問題
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曝光源點燈後，電源供應器顯示的功率值一直很低，長時間仍無法到達設定值，請問是那邊故障?
汞燈點燈後，需待燈泡溫度上升，水銀完全揮發成氣態，功率才能到達設定值，若散熱風速太強造成燈泡無法升溫，功率就無法上升，光束強度也會非常弱。
請問可以向你們購買曝光源組裝到我們的機台上再交貨給客戶嗎?
若你們的機台與我們的產品沒有業務衝突，歡迎購買我們的曝光源。
請問你們還有中古曝光機或中古曝光源嗎?
我們偶爾會購進中古機，但通常沒有存貨。
光罩吸盤吸真空固定光罩時會有漏氣聲，如何排除?
光罩吸盤以真空吸附固定光罩，兩者之間需平整不能有微粒存在才能固定良好，可先用溶劑把兩者清潔，若仍有漏氣，可用鋼片等小工具輕括吸盤表面把殘膠括除，再用溶劑把兩者清潔。
光罩需如何固定?
光罩以真空吸附於吸盤上，下吸式吸盤先以手由下方托著光罩，將光罩貼附於吸盤下方，側邊頂住定位小螺絲，再開啟真空，上吸式吸盤先將光罩置於吸盤上，側邊頂住定位小螺絲，再開啟真空。
對準台光罩吸盤蓋下後，會聽到chuck有聲音，正常嗎?
光罩與基板欲進行真空吸附，chuck四週會有膜片封住，在對位時，需有吹氣破真空，以防止光罩與基板因膜片產生的真空而貼合阻礙對位進行， 吹氣時膜片會震動而發聲，可調整吹氣的大小以減低音量。