我們提供最專業的設計與服務

本公司成立於2006年，為一小型之設備製造廠，專精於半導體微影製程之光罩對準曝光機及曝光源之開發製造，從曝光燈箱內的光學設計到各種型式的完整曝光機，本公司經多年努力已完全自行開發完成，並已出貨國內外眾多客戶，深獲好評。

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  • 光罩對準曝光機

    高產量全自動曝光機，對位製程每小時可產出250片以上，無對位製程每小時可產出350片以上，全自動機型之晶圓傳送為自動輸入與輸出，產量為業界最高，兩倍於其他廠牌機型。

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  • 曝光源

    可選用光強回授型電源供應器，以燈箱內部之光強偵測器信號做回授控制，可使光強輸出長時間穩定，以均勻化的透鏡陣列產生的光束，在做圖形轉移的曝光時可有效降低光的繞射。

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  • 汞燈電源

    數位面板顯示輸出功率及電壓電流值，內部電磁接觸器做過載保護，後方接頭可輸出燈箱散熱風扇電源，以及燈箱過溫保護互鎖線路，操作性能良好，穩定性佳,耐用度高，最適合生產線使用。

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  • 零組件

    燈箱零件如:汞燈,橢圓鏡,UV鏡, 曝光機零件如: 光罩吸盤,晶圓chuck,鏡頭等

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訊息公告 More
常見問題 More
開啟電源供應器電源，無法點燈，切換電壓顯示，也沒有電壓，請問是那邊故障?

還未點燈前電壓顯示應該有超過100V的電壓值，若沒有電壓，可能是後方溫度保護開關的線沒接好，或是電源供應器本身故障。

請問你們有demo機可以試用嗎?

我們通常會有一台半自動的demo機可以讓客戶試用。

我要曝光的基板是6吋方， I-line曝光的能量約150mJ/cm2，請問適合的曝光源是那種?

若您是用在量產線，建議您使用1000W 6吋方曝光機，I-line光強度約40mW/cm2，曝光時間約4秒鐘。

我的快速掃描台無法良好鎖定，在鏡頭座汽缸移動時，鏡頭的定位會左右偏移，請問是那邊故障?

應該是快速掃描台內部的夾緊汽缸無法確實鎖定，請檢查氣壓是否不足，是否有漏氣，也有可能是夾緊汽缸的橡膠老化需要更換。

請問我的晶圓需要用背面的align key來做對位，有適合的機型嗎?

我們的雙面對準曝光機，有背對準鏡頭組可用來做背面對位。

置放晶圓要用什麼工具?

晶圓的置放可用平嘴鑷子夾晶圓邊，若是線路對微粒容忍比較高的製程甚至可以用載手套的手取放晶圓。