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本公司成立於2006年，為一小型之設備製造廠，專精於半導體微影製程之光罩對準曝光機及曝光源之開發製造，從曝光燈箱內的光學設計到各種型式的完整曝光機，本公司經多年努力已完全自行開發完成，並已出貨國內外眾多客戶，深獲好評。

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  • 光罩對準曝光機

    高產量全自動曝光機，對位製程每小時可產出250片以上，無對位製程每小時可產出350片以上，全自動機型之晶圓傳送為自動輸入與輸出，產量為業界最高，兩倍於其他廠牌機型。

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  • 曝光源

    可選用光強回授型電源供應器，以燈箱內部之光強偵測器信號做回授控制，可使光強輸出長時間穩定，以均勻化的透鏡陣列產生的光束，在做圖形轉移的曝光時可有效降低光的繞射。

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  • 汞燈電源

    數位面板顯示輸出功率及電壓電流值，內部電磁接觸器做過載保護，後方接頭可輸出燈箱散熱風扇電源，以及燈箱過溫保護互鎖線路，操作性能良好，穩定性佳,耐用度高，最適合生產線使用。

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  • 零組件

    燈箱零件如:汞燈,橢圓鏡,UV鏡, 曝光機零件如: 光罩吸盤,晶圓chuck,鏡頭等

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訊息公告 More
常見問題 More
開啟電源供應器電源，無法點燈，切換電壓顯示，也沒有電壓，請問是那邊故障?

還未點燈前電壓顯示應該有超過100V的電壓值，若沒有電壓，可能是後方溫度保護開關的線沒接好，或是電源供應器本身故障。

我在換燈泡時手指不小心碰到燈泡，請問要如何處理?

換燈泡時要戴上手套並避免接觸燈泡中央球體部份，若手指不小心碰到燈泡，可以布沾溶劑清除燈泡上的薄油脂，以免產生爆炸風險。

請問安裝汞燈泡為何要加裝散熱器?

汞燈泡位於橢圓鏡內之電極因被橢圓鏡包圍，散熱不佳，需加裝散熱器以加強散熱。

曝光源使用約1個小時，會自行熄滅，請問是那邊故障?

曝光源燈箱內部有溫度保護開關，以防止燈泡過熱爆炸，若是燈箱散熱不良，溫度溫度到達保護開關的設定，電源供應器就會跳脫。

請問同軸打光與環形打光的使用時機各為何?

同軸打光適用於有高反射率的金屬的align key，是影像系統打光的bright field，影像品質較佳，環形打光適用於align key有高度差的構造， 是影像系統打光的dark field，影像品質通常較差。

我的曝光源使用幾個鐘頭後就熄燈，再點燈又正常，請問是什麼問題?

請檢查散熱風扇，可能是風路被擋住造成燈箱內部過熱而啟動溫度保護開關，造成電源供應器跳脫。