本公司成立於2006年,為一小型之設備製造廠,專精於半導體微影製程之光罩對準曝光機及曝光源之開發製造,從曝光燈箱內的光學設計到各種型式的完整曝光機,本公司經多年努力已完全自行開發完成,並已出貨國內外眾多客戶,深獲好評。
汞燈點燈後,需待燈泡溫度上升,水銀完全揮發成氣態,功率才能到達設定值,若散熱風速太強造成燈泡無法升溫,功率就無法上升,光束強度也會非常弱。
還未點燈前電壓顯示應該有超過100V的電壓值,若沒有電壓,可能是後方溫度保護開關的線沒接好,或是電源供應器本身故障。
我們的雙面對準曝光機,有背對準鏡頭組可用來做背面對位。
若你們的機台與我們的產品沒有業務衝突,歡迎購買我們的曝光源。
若您是用在量產線,建議您使用1000W 6吋方曝光機,I-line光強度約40mW/cm2,曝光時間約4秒鐘。
先檢查真空膜片是否有裂痕而需更換,若真空膜片良好也放置妥當,可再試著調整吸附真空,若情形無改善,可能是管路阻塞,需拆管路清潔。