我們提供最專業的設計與服務

本公司成立於2006年,為一小型之設備製造廠,專精於半導體微影製程之光罩對準曝光機及曝光源之開發製造,從曝光燈箱內的光學設計到各種型式的完整曝光機,本公司經多年努力已完全自行開發完成,並已出貨國內外眾多客戶,深獲好評。

  • 光罩對準曝光機

    高產量全自動曝光機,對位製程每小時可產出250片以上,無對位製程每小時可產出350片以上,全自動機型之晶圓傳送為自動輸入與輸出,產量為業界最高,兩倍於其他廠牌機型。

  • 曝光源

    可選用光強回授型電源供應器,以燈箱內部之光強偵測器信號做回授控制,可使光強輸出長時間穩定,以均勻化的透鏡陣列產生的光束,在做圖形轉移的曝光時可有效降低光的繞射。

  • 汞燈電源

    數位面板顯示輸出功率及電壓電流值,內部電磁接觸器做過載保護,後方接頭可輸出燈箱散熱風扇電源,以及燈箱過溫保護互鎖線路,操作性能良好,穩定性佳,耐用度高,最適合生產線使用。

  • 零組件

    燈箱零件如:汞燈,橢圓鏡,UV鏡, 曝光機零件如: 光罩吸盤,晶圓chuck,鏡頭等

常見問題 More
光罩需如何固定?

光罩以真空吸附於吸盤上,下吸式吸盤先以手由下方托著光罩,將光罩貼附於吸盤下方,側邊頂住定位小螺絲,再開啟真空,上吸式吸盤先將光罩置於吸盤上,側邊頂住定位小螺絲,再開啟真空。

我的快速掃描台無法良好鎖定,在鏡頭座汽缸移動時,鏡頭的定位會左右偏移,請問是那邊故障?

應該是快速掃描台內部的夾緊汽缸無法確實鎖定,請檢查氣壓是否不足,是否有漏氣,也有可能是夾緊汽缸的橡膠老化需要更換。

我們的曝光燈箱內的汞燈在使用中爆炸了,處理程序如何?

汞燈內含水銀,在高熱狀態爆炸,水銀會以霧化狀散開,若燈箱有連接抽風管,可待抽風約30分鐘後再清理燈箱內部,若燈箱散熱風直接排於室內, 應疏散人員並等室內空氣排出後再行清理燈箱內部,清理燈泡碎屑應注意安全勿遭割傷,清除完後可用布把UV鏡與橢圓鏡稍加擦拭, 並注意排除可能造成爆燈的因素,再換上新燈泡重新點燈操作。

開啟電源供應器電源,無法點燈,切換電壓顯示,也沒有電壓,請問是那邊故障?

還未點燈前電壓顯示應該有超過100V的電壓值,若沒有電壓,可能是後方溫度保護開關的線沒接好,或是電源供應器本身故障。

請問你們曝光燈箱使用那家的高壓汞燈?

我們一般使用美國ARC的汞燈泡,若需使用Ushio, Osram等廠牌汞燈泡,我們也可以配合設計製作。

光罩吸盤吸真空固定光罩時會有漏氣聲,如何排除?

光罩吸盤以真空吸附固定光罩,兩者之間需平整不能有微粒存在才能固定良好,可先用溶劑把兩者清潔,若仍有漏氣,可用鋼片等小工具輕括吸盤表面把殘膠括除,再用溶劑把兩者清潔。