我們提供最專業的設計與服務

本公司成立於2006年，為一小型之設備製造廠，專精於半導體微影製程之光罩對準曝光機及曝光源之開發製造，從曝光燈箱內的光學設計到各種型式的完整曝光機，本公司經多年努力已完全自行開發完成，並已出貨國內外眾多客戶，深獲好評。

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  • 光罩對準曝光機

    高產量全自動曝光機，對位製程每小時可產出250片以上，無對位製程每小時可產出350片以上，全自動機型之晶圓傳送為自動輸入與輸出，產量為業界最高，兩倍於其他廠牌機型。

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  • 曝光源

    可選用光強回授型電源供應器，以燈箱內部之光強偵測器信號做回授控制，可使光強輸出長時間穩定，以均勻化的透鏡陣列產生的光束，在做圖形轉移的曝光時可有效降低光的繞射。

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  • 汞燈電源

    數位面板顯示輸出功率及電壓電流值，內部電磁接觸器做過載保護，後方接頭可輸出燈箱散熱風扇電源，以及燈箱過溫保護互鎖線路，操作性能良好，穩定性佳,耐用度高，最適合生產線使用。

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  • 零組件

    燈箱零件如:汞燈,橢圓鏡,UV鏡, 曝光機零件如: 光罩吸盤,晶圓chuck,鏡頭等

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訊息公告 More
常見問題 More
請問你們的付款條件是?

台灣客戶通常是預付30%，交機40%，驗收30%。

請問你們有沒有晶圓正反兩面同時曝光的機型?

我們有雙面曝光曝光機，可做對位與曝光。

請問我的晶圓需要用背面的align key來做對位，有適合的機型嗎?

我們的雙面對準曝光機，有背對準鏡頭組可用來做背面對位。

我們的曝光燈箱內的汞燈在使用中爆炸了，處理程序如何?

汞燈內含水銀，在高熱狀態爆炸，水銀會以霧化狀散開，若燈箱有連接抽風管，可待抽風約30分鐘後再清理燈箱內部，若燈箱散熱風直接排於室內， 應疏散人員並等室內空氣排出後再行清理燈箱內部，清理燈泡碎屑應注意安全勿遭割傷，清除完後可用布把UV鏡與橢圓鏡稍加擦拭， 並注意排除可能造成爆燈的因素，再換上新燈泡重新點燈操作。

請問何時適合使用一支對準鏡頭?

做晶圓破片對位時，兩支鏡頭因間距限制，無法同時看到左右影像，適合使用一支鏡頭，左右調整移動鏡頭來觀看對準情形，可配合使用快速掃描台加快對位速度。

光罩與晶圓進行真空吸附時，以眼觀看發覺吸附不良，真空表的值也比正常值小，真空膜片也沒有內凹，需如何處理?

先檢查真空膜片是否有裂痕而需更換，若真空膜片良好也放置妥當，可再試著調整吸附真空，若情形無改善，可能是管路阻塞，需拆管路清潔。