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本公司成立於2006年，為一小型之設備製造廠，專精於半導體微影製程之光罩對準曝光機及曝光源之開發製造，從曝光燈箱內的光學設計到各種型式的完整曝光機，本公司經多年努力已完全自行開發完成，並已出貨國內外眾多客戶，深獲好評。

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  • 光罩對準曝光機

    高產量全自動曝光機，對位製程每小時可產出250片以上，無對位製程每小時可產出350片以上，全自動機型之晶圓傳送為自動輸入與輸出，產量為業界最高，兩倍於其他廠牌機型。

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  • 曝光源

    可選用光強回授型電源供應器，以燈箱內部之光強偵測器信號做回授控制，可使光強輸出長時間穩定，以均勻化的透鏡陣列產生的光束，在做圖形轉移的曝光時可有效降低光的繞射。

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  • 汞燈電源

    數位面板顯示輸出功率及電壓電流值，內部電磁接觸器做過載保護，後方接頭可輸出燈箱散熱風扇電源，以及燈箱過溫保護互鎖線路，操作性能良好，穩定性佳,耐用度高，最適合生產線使用。

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  • 零組件

    燈箱零件如:汞燈,橢圓鏡,UV鏡, 曝光機零件如: 光罩吸盤,晶圓chuck,鏡頭等

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訊息公告 More
常見問題 More
2KW電源供應器按下點燈鍵時會有響亮電擊聲，是否正常 ?

2KW高壓汞燈是一種汞氙燈，點燈時需要2~3萬伏的高壓，電源供應器產生此高壓過程會有響亮電擊聲，屬正常。

光罩與晶圓進行真空吸附時，以眼觀看發覺吸附不良，真空表的值也比正常值小，真空膜片也沒有內凹，需如何處理?

先檢查真空膜片是否有裂痕而需更換，若真空膜片良好也放置妥當，可再試著調整吸附真空，若情形無改善，可能是管路阻塞，需拆管路清潔。

請問你們的半自動曝光機產能是多少?

若您的對位精度不需要很高，熟練的操作員一分鐘最快可以做完3片。

光罩需如何固定?

光罩以真空吸附於吸盤上，下吸式吸盤先以手由下方托著光罩，將光罩貼附於吸盤下方，側邊頂住定位小螺絲，再開啟真空，上吸式吸盤先將光罩置於吸盤上，側邊頂住定位小螺絲，再開啟真空。

請問高壓汞燈電源供應器維修需時多久?

約要一個星期來修。

使用I-line濾鏡把NUV的另兩種波長濾除，為什麼I-line的強度會降低

I-line濾鏡會擋掉大部份H-line與G-line兩種波長，而讓約70%的I-line波長通過，但難免會擋掉一小部份I-line波長，目前尚無100%通過的濾鏡。