我們提供最專業的設計與服務
本公司成立於2006年，為一小型之設備製造廠，專精於半導體微影製程之光罩對準曝光機及曝光源之開發製造，從曝光燈箱內的光學設計到各種型式的完整曝光機，本公司經多年努力已完全自行開發完成，並已出貨國內外眾多客戶，深獲好評。
訊息公告
More
常見問題
More
請問我們是經費不多的半導體實驗室，想買一台基本功能都有的曝光機，你們有適合的機型嗎?
可以考慮我們的桌上型曝光機。
請問安裝汞燈泡為何要加裝散熱器?
汞燈泡位於橢圓鏡內之電極因被橢圓鏡包圍，散熱不佳，需加裝散熱器以加強散熱。
我們的曝光燈箱內的汞燈在使用中爆炸了，處理程序如何?
汞燈內含水銀，在高熱狀態爆炸，水銀會以霧化狀散開，若燈箱有連接抽風管，可待抽風約30分鐘後再清理燈箱內部，若燈箱散熱風直接排於室內， 應疏散人員並等室內空氣排出後再行清理燈箱內部，清理燈泡碎屑應注意安全勿遭割傷，清除完後可用布把UV鏡與橢圓鏡稍加擦拭， 並注意排除可能造成爆燈的因素，再換上新燈泡重新點燈操作。
請問UV鏡與橢圓鏡要多久更換?
一般正常使用，UV鏡與橢圓鏡可以使用好幾年，若是發生出光強度明顯減弱，可查看橢圓鏡?部表面鍍膜是否有過熱變黑或漏酸腐蝕情形，定再決定是否更換。
曝光源點燈後，電源供應器顯示的功率值一直很低，長時間仍無法到達設定值，請問是那邊故障?
汞燈點燈後，需待燈泡溫度上升，水銀完全揮發成氣態，功率才能到達設定值，若散熱風速太強造成燈泡無法升溫，功率就無法上升，光束強度也會非常弱。
請問我的晶圓需要用背面的align key來做對位，有適合的機型嗎?
我們的雙面對準曝光機，有背對準鏡頭組可用來做背面對位。